EV Group dimostra la leadership di MEMS Continua tutto il mondo con Win Ordine Da Samsung Electro-Mechanics

Published on January 20, 2009 at 6:19 PM

EV Group (EVG) , un fornitore leader di wafer bonding e apparecchiature di litografia per i mercati MEMS, la nanotecnologia e dei semiconduttori, ha annunciato oggi che i principali componenti del produttore coreano, Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. (SEMCO), selezionati EVG810LT dell'azienda, (R) LowTemp sistema di attivazione al plasma, per il suo R & S che coinvolgono impilati e dispositivi MEMS 3D. Lo strumento sarà spedito e installato in marzo, in seguito a manifestazioni di successo presso la sede di camera bianca EVG in Austria.

Il EVG810LT è una singola camera, stand-alone per l'attivazione in plasma a bassa temperatura di incollaggio fino a 200 mm wafer. EVG la rivoluzionaria tecnologia di attivazione al plasma permette ad alta superficie di incollaggio di energia negli strati fusione / molecolare e intermedi, con conseguente legami con forza frattura superiore al silicio sfuso in tempi più brevi ricottura. Il suo design a bassa temperatura, chiuso a camera offre uniformità superficiale legame in una vasta gamma di materiali termo-sensibili, tra cui silicio basati su semiconduttori, semiconduttori composti, vetro e polimeri. Il clima temperato a basso ricottura - che vanno dalla temperatura ambiente fino a 400 gradi C - si traduce in stress, ordito-free, substrati allineati, in ultima analisi, riducendo i costi di confezionamento per i dispositivi MEMS.

"Siamo impegnati a portare all'avanguardia dispositivi MEMS sul mercato, e così facendo, si concentrano sul miglioramento della qualità e le prestazioni di nuova generazione 3D e impilati MEMS dispositivi", ha detto il Dott. Woo Jae Joung, direttore generale di Samsung Electro -Meccanica Co., LTD. "A sua volta, stiamo cercando di collaborare con aziende in grado di fornire gli approcci più recenti di produzione, competenze di processo e supporto per aiutarci a realizzare i nostri obiettivi di attivazione EV Gruppo tecnologia al plasma dimostrato di soddisfare i nostri severi requisiti -. Offrire l'alta affidabilità e alta qualità di elaborazione dei risultati chiediamo per i nostri prodotti. "

Dr. Weonsik Yang, direttore generale di VE del Gruppo Korea Ltd, ha osservato, "Come il mercato coreano continua ad aumentare la sua evoluzione tecnologica e l'aumento di competere nell'arena globale MEMS, EVG è entusiasta di avere l'opportunità di lavorare a stretto contatto con un settore innovatore e leader, come Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. Siamo estremamente occupino di rendere disponibili i nostri clienti in questa regione, e ci auguriamo per il futuro gli sforzi di collaborazione con SEMCO ".

Last Update: 4. October 2011 09:21

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit