EV Groupはサムスン電機からの受注の勝利で世界中の続きMEMSのリーダーシップを実証

Published on January 20, 2009 at 6:19 PM

EVグループ(EVG) 、MEMS、ナノテクノロジー、半導体市場向けのウェーハボンディングとリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーは、本日、サムスン電機株式会社、韓国の部品メーカーをリードすることを発表しました。 (SEMCO)、そのR&D積み上げ伴う作業と3D MEMSデバイスのために、同社のEVG810LT、LowTemp(R)プラズマ活性化システムを選択した。ツールは、オーストリアのEVGのクリーンルーム施設で成功したデモに続く、3月に出荷され、インストールされます。

EVG810LTは最大200 mmウェーハへの低温接合のためのシングルチャンバー、スタンドアロンのプラズマ活性化システムです。 EVG社の革新的なプラズマアクティベーション技術は、より短いアニーリング時間でバルクシリコンを超える破壊力を持つ債券に、その結​​果、融合/分子および中間層に高表面エネルギーの結合を可能にします。その低温、クローズドチャンバーの設計は、シリコンベースの半導体、化合物半導体、ガラスやポリマーを含む熱に敏感な材料の広い範囲にまたがって接合面の均一性を提供しています。ローは、温帯アニーリング - 最高室温から400℃に至るまで - ストレスのない、ワープ、フリー、整列基板の結果、最終的にMEMSデバイスのパッケージングのコストを下げる。

"我々は市場に最先端のMEMSデバイスをもたらすことにコミットしている、そうすることで、次世代3Dと積層型MEMSデバイスの品質とパフォーマンスの向上に焦点を当てている、"博士在ウーイジョンビン、サムスン電機のゼネラルマネージャー - メカニクス株式会社。 "ターンでは、我々は、EVグループのプラズマアクティベーション技術が私たちの厳しい要件を満たすことが証明我々の目標を実現するための最新の製造手法、プロセスの専門知識とサポートを提供できる企業との提携を探して - 高い信頼性と高性能を提供品質の処理は、我々の製品の需要結果。"

博士Weonsikヤン、EVグループコリア(株)での一般的なマネージャーは、韓国市場が世界的なMEMSの分野で競争するために技術開発を増加し、上昇し続けると、EVGは、産業界と密接に仕事をする機会を持つことに興奮している"と述べた。このようなサムスン電機株式会社として革新とリーダーは、我々は非常にこの地域でお客様を有効に捧げ、そしてセムコと将来の共同の努力を楽しみにしています。"

Last Update: 9. October 2011 04:17

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