EV Grupo Demonstra Liderança MEMS Continuação todo o mundo com Win Ordem De Samsung Electro-Mechanics

Published on January 20, 2009 at 6:19 PM

EV Group (EVG) , um fornecedor líder de wafer bonding e equipamentos de litografia para o mercado de nanotecnologia MEMS e de semicondutores, anunciou hoje que a principal fabricante de componentes coreana, Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. (SEMCO), selecionados EVG810LT da empresa, uma LowTemp (R) sistema de ativação de plasma, por seu trabalho de I & D, envolvendo empilhados e dispositivos MEMS 3D. A ferramenta será enviado e instalado em março, na sequência das manifestações de sucesso na instalação de salas limpas EVG na Áustria.

O EVG810LT é uma única câmara, sistema autônomo de ativação de plasma de baixa temperatura de colagem para até 200 mm de wafers. EVG tecnologia de ativação revolucionária plasma permite alta superfície de ligação de energia nas camadas de fusão / molecular e intermediário, resultando em ligações com forças de fratura de silício superior a granel em menores tempos de recozimento. Seu design de baixa temperatura, câmara fechada oferece uniformidade de superfície de títulos através de uma ampla gama de termo-sensíveis materiais, incluindo base de silicone semicondutores, semicondutores compostos, vidros e polímeros. O clima temperado baixo annealing - que vão desde a temperatura ambiente até 400 graus C - resulta em stress-free, deformar-free, alinhado substratos, em última análise, reduzir os custos de embalagem para dispositivos MEMS.

"Estamos empenhados em trazer os dispositivos de ponta MEMS para o mercado, e ao fazê-lo, estão focados em melhorar a qualidade eo desempenho da próxima geração de 3D e dispositivos MEMS empilhados", disse Dr. Woo Jae Joung, gerente geral da Samsung Electro -Mecânica Co., LTD. "Por sua vez, estamos buscando parcerias com empresas que podem entregar as abordagens mais recentes de produção, experiência em processos e apoio para nos ajudar a realizar nossos objetivos tecnologia EV Grupo de ativação plasma provou para satisfazer as nossas exigências rigorosas -. Oferecendo a alta confiabilidade e alta processamento de resultados de qualidade que exigimos para nossos produtos. "

Dr. Weonsik Yang, gerente-geral da EV Grupo Korea Ltd., observou: "Como o mercado coreano continua a aumentar a sua evolução tecnológica e do aumento de competir na arena global de MEMS, EVG está animado para ter a oportunidade de trabalhar em estreita colaboração com uma indústria empresa inovadora e líder, como a Samsung Electro-Mechanics Co., LTD. Estamos extremamente dedicados a permitir aos nossos clientes nesta região, e estamos ansiosos para futuros esforços de colaboração com SEMCO. "

Last Update: 10. October 2011 13:37

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