Группа EV Демонстрирует Продолжаемое Водительство MEMS Вокруг Глобуса С Выигрышем Заказа От Electro-Механиков Samsung

Published on January 20, 2009 at 6:19 PM

EV Группа (EVG), ведуще поставщик вафля выпуск облигаций и литографирование оборудование для MEMS, рынки нанотехнологии и полупроводника, сегодня объявил т Корейские компоненты водя изготовление, CO. Electro-Механиков Samsung, LTD. (SEMCO), выбрали EVG810LT компании, Низкотемпературную систему активации плазмы (R), ибо своего штабелированного включать работы R&D и приборов 3D MEMS. Инструмент будет погружен и будет установлен в Март, после успешных демонстраций на средстве чистой комнаты EVG в Австрии.

EVG810LT одиночная камера, отдельно стоящая система активации плазмы для низкотемпературного выпуска облигаций для вафель до 200 mm. Технология активации плазмы EVG революционная включает выпуск облигаций энергии высок-поверхности на сплавливании/молекулярных и промежуточных слоях, приводящ к в скреплениях при прочности трещиноватости превышая навальный кремний на более коротких продолжительностях отжига. Свое единообразие низкотемпературных, закрыт-камеры конструкции скрепленное предложениями поверхностное через широкий диапазон термальн-чувствительных материалов, включая кремни-основанные полупроводники, сложные полупроводники, стекло и полимеры. Результаты низкого отжига воздержательные - колебающся от комнатной температуры до 400 градусов C - в усили-свободных, warp-свободных, выровнянных субстратах, в конечном счете понижая упаковывать стоят для приборов MEMS.

«Мы поручены к приносить приборы ведущей кромки MEMS для того чтобы выйти на рынок, и в делать так, сфокусированы на улучшать качество и представление следующего поколени 3D и штабелированных приборов MEMS,» сказал Др. Jae Сватать Joung, генеральный директор CO. Electro-Механиков Samsung, LTD. «В свою очередь, мы смотрят, что будем партнером с компаниями которые могут поставить самые последние подходы к изготавливания, отростчатую экспертизу и поддержку для того чтобы помочь нам осуществить наши цели. Технология активации плазмы Группы EV доказанные, что соотвествовали наши строгие - предлагающ высокую надежность и высокомарочные обрабатывая результаты мы требуем для наших продуктов.»

Др. Weonsik Yang, генеральный директор на замеченное Корею Ltd. Группы EV, «По Мере Того Как Корейский рынок продолжается увеличить свои технологические развития и поднять для того чтобы состязаться в глобальной арене MEMS, EVG возбужден для того чтобы иметь возможность работать близко с рационализатором и руководителем индустрии, как CO. Electro-Механиков Samsung, LTD. Мы весьма предназначены к включать наших клиентов в этой зоне, и смотрим вперед к будущим сотрудническим усилиям с SEMCO.»

Last Update: 14. January 2012 14:08

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit