EV Group Demonstrerar Fortsatt MEMS Ledarskap Runt om i världen med Order Vinner från Samsung Electro-Mechanics

Published on January 20, 2009 at 6:19 PM

EV Group (EVG) , en ledande leverantör av wafer bonding och litografi utrustning för MEMS, nanoteknik och halvledare marknader, tillkännagav idag att Koreas ledande komponenttillverkare, Samsung Electro-Mechanics Co, LTD. (SEMCO), utvalda företagets EVG810LT, en LowTemp (R) plasma aktiveringssystem för sin FoU-arbete med staplade och 3D-MEMS-enheter. Verktyget kommer att levereras och installeras i mars, efter framgångsrika demonstrationer vid EVG: s renrum anläggning i Österrike.

Den EVG810LT är en enda kammare, fristående plasma aktivering för låg temperatur bindning för upp till 200-mm-plattor. EVG revolutionerande plasma aktivering tekniken möjliggör hög ytenergi bindning vid fusion / molekylära och mellanliggande lager, vilket resulterar i obligationer med fraktur styrkor överstigande delen kisel vid kortare glödgning gånger. Dess låga temperaturer, slutna kammare design erbjuder enhetlighet obligation ytan inom ett brett spektrum av termiskt känsliga material, inklusive kiselbaserade halvledare, halvledare förening, glas och polymerer. Den låga glödgning tempererade - från rumstemperatur upp till 400 grader C - resulterar i stress, varp-fri, anpassat substrat, i slutändan sänka emballage kostnader för MEMS-enheter.

"Vi har åtagit oss att föra ledande MEMS-enheter på marknaden, och därigenom är inriktad på att förbättra kvalitet och prestanda av nästa generations 3D och staplade MEMS-enheter", säger Dr Jae Woo Joung, chef för Samsung Electro -Mechanics Co, LTD. "I sin tur, vi vill samarbeta med företag som kan leverera den senaste tillverknings-metoder, process expertis och stöd för att hjälpa oss att realisera våra mål EV koncernens plasma aktivering teknik visat sig uppfylla våra högt ställda krav -. Erbjuder hög tillförlitlighet och hög- kvalitet bearbetning resultat vi efterfrågan på våra produkter. "

Dr Weonsik Yang, General Manager på EV Group Korea Ltd, noterade, "Som den koreanska marknaden fortsätter att öka sin tekniska utvecklingen och ökar för att konkurrera på den globala MEMS arenan är EVG glada över att få möjlighet att arbeta nära med en industri innovatör och ledare, som Samsung Electro-Mechanics Co, LTD. Vi är oerhört engagerade till så att våra kunder i denna region, och ser fram emot framtida samarbeten med SEMCO. "

Last Update: 4. October 2011 09:21

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit