EV 组世界各地展示持续的 MEMS 领导与从三星电镀物品技工的命令胜利

Published on January 20, 2009 at 6:19 PM

EV 组 (EVG),主导供应商薄酥饼接合和石版印刷设备为 MEMS,纳米技术和半导体市场,今天宣布了该导致的韩文要素制造商,三星电镀物品技工 Co.,有限公司 (SEMCO),选择了公司的 EVG810LT,低温 (R) 等离子启动系统,为了其 R&D 工作介入被堆积的和 3D MEMS 设备。 工具在 3月将被发运并且被安装,从事在 EVG 的清洁的房间设备的成功的演示在奥地利。

EVG810LT 是一个唯一房间,低温接合的独立等离子启动系统至 200 mm 薄酥饼的。 EVG 的革命等离子启动技术启用高表面能源接合在融合/分子和中间层,造成与超出批量硅的破裂力量的债券在更短的退火时间。 其在各种各样热量敏感的材料间的低温,闭合房间设计聘用政券表面均一,包括基于硅的半导体、化合物半导体、玻璃和聚合物。 在重点自由,经线自由,对齐的基体的低焖火温和 - 范围从室温至 400 摄氏度 - 结果,根本地降低包装为 MEMS 设备花费。

“我们做对带来前进 MEMS 设备销售,和这样做,集中于改进这个质量,并且下一代 3D 和被堆积的 MEMS 设备性能”,总经理说博士 Jae Woo Joung,三星电镀物品技工 Co.,有限公司的 “反之,我们查找与能提供最新的制造途径、处理专门技术和技术支持帮助我们认识到我们的目标的公司成为伙伴。 EV 组的等离子启动技术被证明的符合我们的严密要求 - 提供高可靠性和我们为我们的产品需求的优质处理结果”。

Weonsik 杨, EV 组有限公司韩国的总经理博士,注意, “当韩文市场继续增加其技术发展和上升在全球 MEMS 竞技场竞争, EVG 被激发有这个机会与一位行业创新者和领导先锋严密地合作,例如三星电镀物品技工 Co.,有限公司。 我们在此区域非常投入启用我们的客户,并且盼望与 SEMCO 的将来的合作工作成绩”。

Last Update: 14. January 2012 07:32

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