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Tegal Recibe la Pedido para la Herramienta del Atado del Multi-Módulo de DRIE 3200 del Fabricante En grandes cantidades de Sensores de MEMS

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Corporation (Nasdaq: TGAL), un proyectista de cabeza y un fabricante de DRIE, un grabado de pistas del plasma, y sistemas de la deposición usados en la producción de MEMS, de semiconductor de la potencia, y de dispositivos optoelectrónicos, anunciados hoy que la Compañía recibió una pedido para una herramienta del atado del multi-módulo de Tegal DRIE 3200 de un fabricante en grandes cantidades de sensores de MEMS. La herramienta de Tegal DRIE 3200 expidirá en el segundo trimestre de CY2009, y será utilizada por el cliente de Tegal para desplegar inmediatamente capacidades de la producción del sensor HVM de MEMS, y para traer nuevos productos importantes del sensor en línea más adelante en CY2009.

“Esto es un triunfo importante para Tegal Corporation y para nuestro Sistema Avance de DRIE 3200 ICP, confirmando como hace el liderazgo técnico del DRIE de Tegal y el valor adicional de Tegal que proveen de clientes seguro, las herramientas producción-dignas de DRIE y atención al cliente posventa superior,” dijo a Peter Dijkstra, Vicepresidente de Global Sales, Tegal Corporation. “Nuestro cliente eligió Tegal después de una competencia comparativa que pesaba resultados del proceso del silicio DRIE y referencias de la industria con respecto a las reputaciones del surtidor del equipo para la atención al cliente y el servicio. Nuestro cliente concluyó el asunto del valor de Tegal para los sistemas de la herramienta del atado de DRIE está en segundo lugar a ningunos en la industria, y estamos satisfechos haber sido elegidos para esta orden de la herramienta del silicio DRIE como consecuencia.”

Se prevee que la fabricación del sensor de MEMS demuestre incremento continuado en el corto plazo, mientras que los sensores de MEMS se embuten cada vez más en smartphone, diagnóstico electrónico, médico del consumidor, y aplicaciones automotores. El tramitación del Silicio DRIE es en el corazón de la fabricación del sensor de MEMS, y también se está convirtiendo en una aplicación de proceso cada vez más importante para la fabricación moderna del dispositivo de potencia.

El sistema de la herramienta del atado del DRIE 3200 de Tegal es una herramienta de alta densidad del grabado de pistas del plasma que ofrece un reactor inductivo acoplado del grabado de pistas del plasma y un arresto magnético del plasma. La herramienta puede ejecutar el SOSTENIDO patentado de Tegal - Alto Proceso Estupendo de la Relación de Aspecto, logrando relaciones de aspecto grabadas el ácido de la característica de >100: 1 en ambientes de producción. Así como su alta confiabilidad, la ventana de proceso amplia, y el alto grabado de pistas valora, el sistema de Tegal DRIE 3200 es un enabler crítico para grabar el ácido el Silicio y el SOI los substratos encontró en el MEMS/MOEMS, el Dispositivo de Potencia, el fotovoltaico, Biotech, y los mercados del hola-voltaje.

Last Update: 17. January 2012 04:41

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