Tegal Reçoit la Commande pour l'Outil de Batterie de Multi-Module de DRIE 3200 du Constructeur À Fort Débit des Senseurs de MEMS

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Corporation (Nasdaq : TGAL), un principal créateur et un constructeur de DRIE, gravure à l'eau forte de plasma, et des systèmes de dépôt utilisés dans la production de MEMS, de semi-conducteur d'alimentation électrique, et de dispositifs optoélectroniques, annoncés aujourd'hui que la Compagnie a reçu une commande pour un outil de batterie de multi-module de Tegal DRIE 3200 d'un constructeur à fort débit des senseurs de MEMS. L'outil de Tegal DRIE 3200 se transportera dans le deuxième trimestre de CY2009, et sera employé par l'abonnée de Tegal pour augmenter immédiatement des capacités de production du senseur HVM de MEMS, et pour porter les produits neufs importants de senseur en ligne plus tard dans CY2009.

« C'est une victoire importante pour Tegal Corporation et pour notre Système Avancé de DRIE 3200 ICP, confirmant comme il fait le commandement technique du DRIE de Tegal et la valeur ajoutée de Tegal fournissant à des abonnées fiable, de production-dignes outils de DRIE et support technique supérieur de poteau-ventes, » a dit Peter Dijkstra, Vice Président de Global Sales, Tegal Corporation. « Notre abonnée a choisi Tegal après une concurrence tête à tête pesant des résultats de procédé du silicium DRIE et des références d'industrie concernant des réputations de fournisseur de matériel pour le support technique et le service. Notre abonnée a conclu la proposition de la valeur de Tegal pour des systèmes d'outil de batterie de DRIE est en second lieu à aucun dans l'industrie, et nous sommes heureux d'avoir été choisis pour cette commande d'outil du silicium DRIE en conséquence. »

On s'attend à ce que la fabrication de senseur de MEMS explique l'accroissement prolongé à court terme, pendant que les senseurs de MEMS deviennent de plus en plus encastrés dans le smartphone, le diagnostic électronique et médical du consommateur, et les applications automobiles. Le traitement du Silicium DRIE est au coeur de la fabrication de senseur de MEMS, et devient également une demande de processus de plus en plus importante de fabrication moderne de dispositif d'alimentation électrique.

Le système d'outil de batterie du DRIE 3200 de Tegal est un outil à haute densité gravure à l'eau forte de plasma comportant un réacteur inductivement accouplé gravure à l'eau forte de plasma et un confinement magnétique de plasma. L'outil peut faire fonctionner le DIÈSE breveté de Tegal - Procédé Élevé Superbe de Rapport Hauteur/largeur, Réalisant des rapports hauteur/largeur corrodés de caractéristique technique de >100 : 1 dans des environnements de production. En même temps que sa grande fiabilité, l'hublot de processus grand, et gravure à l'eau forte élevée calibre, le système de Tegal DRIE 3200 est un enabler critique pour corroder le Silicium et le SOI des substrats a trouvé dans le MEMS/MOEMS, le Dispositif d'Alimentation Électrique, le photovoltaïque, Biotech, et marchés de salut-tension.

Last Update: 4. June 2015 05:58

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