Tegal Ontvangt Orde voor het Hulpmiddel van de Cluster van de multi-Module DRIE 3200 van de Fabrikant van het Hoge Volume van Sensoren MEMS

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Het Bedrijf van Tegal (Nasdaq: TGAL) die, etsen een belangrijke ontwerper en een fabrikant van DRIE, plasma, en depositosystemen in de productie van MEMS, machtshalfgeleider worden gebruikt, en optoelectronic apparaten, kondigden vandaag aan dat het Bedrijf een orde voor een hulpmiddel van de de multi-modulecluster van Tegal DRIE 3200 van een hoog volumefabrikant van sensoren MEMS ontving. Het hulpmiddel van Tegal DRIE 3200 verschepen=zal= in het tweede trimester van CY2009, en zal wordt gebruikt door de klant van Tegal om MEMS de mogelijkheden van de sensorHVM productie onmiddellijk uit te breiden, en belangrijke nieuwe sensorproducten te brengen online later in CY2009.

„Dit is belangrijk wint voor Bedrijf Tegal en voor ons Geavanceerd ICP DRIE 3200 Systeem, die aangezien het zowel de technische leiding van DRIE van Tegal als doet de toegevoegde waarde die van Tegal klanten voorzien van betrouwbare, productie-waardige hulpmiddelen DRIE en superieure post-verkoopklantenondersteuning,“ bovengenoemde Peter Dijkstra, Ondervoorzitter van Globale Verkoop, Bedrijf Tegal bevestigen. „Onze klant koos Tegal na resultaten van een de hoofd-aan-hoofd de concurrentie het wegen siliciumDRIE proces en de industrieverwijzingen betreffende apparatuur leveranciersreputaties voor klantenondersteuning en de dienst. De waardevoorstel van Onze is het klant besloten Tegal voor DRIE de systemen van het clusterhulpmiddel tweede aan niets in de industrie, en wij zijn pleased om voor deze orde van het siliciumDRIE hulpmiddel gekozen te zijn dientengevolge.“

Sensor MEMS de productie zou moeten de voortdurende groei aantonen op korte termijn, aangezien de sensoren MEMS meer en meer ingebed in smartphone, elektronische, medische kenmerkende van de consument, en automobieltoepassingen worden. De verwerking van het Silicium DRIE is centraal bij sensor MEMS productie, en ook wordt een meer en meer belangrijke procestoepassing voor de moderne vervaardiging van het machtsapparaat.

Het systeem van het de clusterhulpmiddel van DRIE 3200 van Tegal is een high-density plasma etst hulpmiddel die een inductief gekoppeld plasma kenmerken etst reactor en magnetische plasmabeperking. Het hulpmiddel kan gepatenteerde SCHERP van Tegal in werking stellen - Super Hoge Aspectverhouding Proces, bereikend geëtste eigenschapaspectverhoudingen van >100: 1 in productiemilieu's. Samen met zijn hoge betrouwbaarheid, etst het brede procesvenster, en hoog tarieven, is het systeem van Tegal DRIE 3200 een kritieke die enabler voor het etsen van het Silicium en de substraten SOI in het MEMS/MOEMS, Apparaat van de Macht, photovoltaic, Biotech, en hallo-voltagemarkten wordt gevonden.

Last Update: 14. January 2012 13:53

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit