Tegal Получает Заказ для Инструмента Группы Multi-Модуля DRIE 3200 от Высокообъемного Изготовления Датчиков MEMS

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Корпорация (NASDAQ: TGAL), ведущий конструктор и изготовление DRIE, etch плазмы, и системы низложения используемые в продукции MEMS, полупроводника силы, и электронно-оптический приборов, объявленных сегодня что Компания получила заказ для инструмента группы multi-модуля Tegal DRIE 3200 от высокообъемного изготовления датчиков MEMS. Инструмент Tegal DRIE 3200 грузит в вторая четверти CY2009, и будет использован клиентом Tegal немедленно для того чтобы расширить возможности продукции датчика HVM MEMS, и принести важную новую на-линию продуктов датчика более поздно в CY2009.

«Это важный выигрыш для Tegal Корпорации и для нашей Системы DRIE 3200 Выдвинутой ICP, подтверждающ по мере того как оно делает и водительство DRIE Tegal техническое и добавочное значение Tegal обеспечивая клиентов с надежным, продукци-достойные инструменты DRIE и главная работа с клиентом столб-сбываний,» сказало Питер Dijkstra, Недостаток - Президент Глобальный Сбываний, Tegal Корпорации. «Наш клиент выбрал Tegal после на равных конкуренции веся результаты процесса кремния DRIE и справки индустрии относительно репутаций поставщика оборудования для работы с клиентом и обслуживания. Наш клиент заключил предложение значения Tegal для систем инструмента группы DRIE во-вторых к никаким в индустрии, и мы довольный быть выбранным для этого заказа инструмента кремния DRIE в результате.»

Ожидано, что демонстрирует изготавливание датчика MEMS непрерывный рост в краткосрочном, по мере того как датчики MEMS будут больше и больше врезанными в smartphone, диагностике едока электронной, медицинской, и автомобильных применениях. Обрабатывать Кремния DRIE в основе изготавливания датчика MEMS, и также будет все больше и больше важное отростчатое применение для самомоднейшего изготовления прибора силы.

Система инструмента группы DRIE 3200 Tegal high-density инструмент etch плазмы отличая индуктивно соединенным реактором etch плазмы и магнитным удерживанием плазмы. Инструмент может работать ДИЕЗ Tegal запатентованный - Супер Высокий Процесс Коэффициента Сжатия, достигая вытравленных коэффициентов сжатия характеристики >100: 1 в промышленных средах. Вместе с своей высокой надежностью, обширное отростчатое окно, и высокий etch классифицирует, система Tegal DRIE 3200 критический enabler для вытравлять Кремний и SOI субстраты нашло в MEMS/MOEMS, Приборе Силы, фотовольтайческом, био-техник, и рынки высок-напряжения тока.

Last Update: 4. June 2015 06:12

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit