Tegal получила заказ на DRIE 3200 Модуль Multi-Кластер инструмент от высоких Производитель Объем MEMS датчики

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Corporation (Nasdaq: TGAL) , ведущий разработчик и производитель DRIE, плазменного травления, осаждения и систем, используемых в производстве MEMS, силовых полупроводниковых и оптоэлектронных устройств, объявила сегодня, что компания получила заказ на Tegal DRIE 3200 мульти -модуль кластера инструмент от производителя высоким объемом MEMS датчиков. Tegal DRIE 3200 инструмент будет поставляться во втором квартале CY2009, и будет использоваться клиентом Tegal, чтобы немедленно расширить возможности MEMS датчик HVM производстве, и привлечь новые важные продукты датчика он-лайн позже в CY2009.

"Это важная победа для Tegal корпорации и для наших DRIE 3200 Система Расширенный ПМС, подтверждающих как это делает DRIE как Tegal техническое руководство и добавленной стоимости Tegal в предоставлении клиентам надежный, производственно-достойный DRIE инструменты и превосходное послепродажное поддержки клиентов," сказал Питер Дейкстры, вице-президент по глобальным продажам, Tegal Corporation. "Наш клиент выбрал Tegal после голова к голове конкуренции весом кремния DRIE процесс приводит и промышленности ссылки о репутации поставщика оборудования для поддержки заказчиков и обслуживания. Наш клиент заключил ценностного предложения Tegal для систем DRIE кластера инструмент не имеет себе равных в отрасли, и мы рады тому, что были выбраны для этого инструмента порядке кремния DRIE как результат ".

Производства MEMS датчик имеет целью продемонстрировать дальнейший рост в ближайшей перспективе, так как MEMS датчики становятся все более и более встроенный в смартфон, бытовой электроники, медицинской диагностики и автомобильной промышленности. Кремний DRIE обработки лежит в основе МЭМС производстве датчиков, а также становится все более важным процессом, приложением для современного изготовления устройства власти.

DRIE Tegal в 3200 кластера инструмент системы высокой плотности плазменного травления инструмент с участием индуктивно-связанной плазмой травления реактора и магнитного удержания плазмы. Инструмент может работать запатентованной SHARP Tegal это - Super High Процесс пропорции, достижения травлению особенность аспект отношений> 100:1 в производственной среде. Вместе с его высокой надежностью, широким окном процесса травления и высокие ставки, Tegal DRIE 3200 системы является одним из важнейших способствующего для травления кремния и SOI подложки найдены в MEMS / MOEMS, блока питания, фотоэлектрические, био-тек, и привет- Напряжение рынках.

Last Update: 8. October 2011 08:08

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit