Tegal Mottar Beställer för Mång--Enhet för DRIE 3200 Samla i en klunga Bearbetar från KickVolymProducent av MEMS-Avkännare

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Korporation (Nasdaq: TGAL), en ledande formgivare och producent av DRIE, plasma etsar, och avlagringsystem som används i produktionen av MEMS, driver halvledaren, och optoelectronic apparater som i dag meddelas, att Företaget mottog en beställa för en Tegal DRIE 3200 mång--enhet, samla i en klunga bearbetar från en kickvolymproducent av MEMS-avkännare. Tegalen DRIE 3200 bearbetar den ska shipen i andra kvartal av CY2009 och ska används av Tegals kund omgående för att utvidga kapaciteter för produktion för MEMS-avkännare HVM och för att komma med viktiga nya avkännareprodukter on-line mer sistnämnd i CY2009.

”Är Denna en viktig seger för Tegal Korporation, och för vårt Avancerade ICP System för DRIE 3200 och att bekräfta, som det gör både Tegals tekniskt ledarskap för DRIE och Tegals förädlingsgrad som ger kunder med pålitligt, bearbetar produktion-värdig DRIE, och överlägsen posta-Salar kundservice,”, sade Peter Dijkstra, Vicepresident av Global Salar, Tegal Korporation. ”Valde Vår kund Tegal, efter enhuvud konkurrens som väger silikoner DRIE, har bearbetat resultat, och bransch hänvisar till angående utrustningleverantöranseende för kundservice och servar. Vår kund avslutade Tegals värderar propositionen för DRIE samla i en klunga bearbetar system är understöder till inga i branschen, och vi behas för att ha valts för denna silikon DRIE bearbetar beställer som ett resultat.”,

Den fabriks- MEMS-avkännaren förväntas för att visa fortsatt tillväxt i near-benämna, som MEMS-avkännare blir mer och mer inbäddat i smartphone, elektronisk medicinsk diagnostik för konsument och automatiska applikationer. Att bearbeta för Silikoner DRIE är på den fabriks- hjärtan av MEMS-avkännaren och är passande en mer och mer viktig processaa applikation för modernt driver också apparatfabricering.

Tegals DRIE 3200 samla i en klunga bearbetar systemet är etttäthet plasma etsar bearbetar att presentera ett inductively kopplat ihop plasma etsar reaktorn och magnetisk plasmafångenskap. Bearbeta kan köra Tegals patenterade KOR - Toppna det Processaa KickAspektFörhållandet och att uppnå etsade särdragaspektförhållanden av >100: 1 i produktionmiljöer. Samman med dess kickpålitlighet Driver det breda processaa fönstret, och kicken etsar klassar, är det Tegal DRIE 3200 systemet en kritisk enabler för att etsa Silikonerna, och SOI-substrates grundar i MEMSEN/MOEMS, Apparaten, photovoltaic, bio-tech och hög-spänning marknadsför.

Last Update: 24. January 2012 08:49

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit