Tegal 從 MEMS 傳感器大容積製造商收到 DRIE 3200 多模塊字符串工具的訂單

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Corporation (那斯達克:TGAL),用於 MEMS、功率半導體和光電子設備的生產的 DRIE 一個主設計師和製造商,等離子銘刻和證言系統,今天宣佈公司從 MEMS 傳感器一個大容積製造商收到了 Tegal DRIE 3200 多模塊字符串工具的一份訂單。 Tegal DRIE 3200 工具在第二季度在 CY2009 將運送 CY2009 和由 Tegal 的客戶使用立即擴展 MEMS 傳感器 HVM 生產功能和在線帶來重要新的傳感器產品以後。

「這是一次重要勝利 Tegal 的 Corporation 和我們的 DRIE 3200 提前的 ICP 系統的,確認,它執行 Tegal 的 DRIE 技術領導和提供客戶的 Tegal 的增值以可靠,生產值得的 DRIE 工具和優越之後銷售額客戶支持」,說彼得 Dijkstra, Global Sales, Tegal Corporation 的副總裁。 「我們的客戶在斟酌硅 DRIE 進程結果和行業參考關於設備供應商名譽的勢均力敵的競爭以後選擇了 Tegal 在客戶支持和服務上。 我們的客戶推斷 Tegal 的 DRIE 字符串工具系統的值提議是首屈一指的在這個行業,結果,并且我們高興地為此硅 DRIE 工具順序被選擇了」。

當 MEMS 傳感器在智能手機、消費者電子,醫療診斷和汽車應用,變得越來越埋置 MEMS 傳感器製造預計在近期中展示持續的增長。 硅 DRIE 處理是在 MEMS 傳感器製造中心和也成為對現代功率設備製造的愈加重要的處理申請。

Tegal 的 DRIE 3200 字符串工具系統是以引人地耦合的等離子銘刻反應器和磁性等離子分娩為特色的一個高密度等離子銘刻工具。 工具可能運行 Tegal 的給予專利的銳利 - 超級高長寬比進程,達到 >100 被銘刻的功能長寬比:1 在生產環境裡。 與其高信度一起,清楚的處理視窗,并且高銘刻對估計, Tegal DRIE 3200 系統是銘刻的硅和 SOI 一個重要支持因素基體在 MEMS/MOEMS,功率設備,光致電壓查找了,生物科技和餵電壓市場。

Last Update: 4. June 2015 05:55

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