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Tegal接收來自製造商的MEMS傳感器的大批量訂購的DRIE 3200多模塊集群工具

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal公司(納斯達克股票代碼: TGAL),領先的設計和製造商的DRIE,等離子蝕刻,MEMS,功率半導體和光電子器件的生產中使用的沉積系統,今天宣布,該公司收到的訂單為Tegal的DRIE 3200多從大批量製造商的MEMS傳感器模塊集群工具。 Tegal的DRIE 3200工具將在第二季度的CY2009船舶,並將於 Tegal的顧客立即擴大 MEMS傳感器的HVM生產的能力,並帶來了重要的新的傳感器產品上線後在CY2009。

“這是一個為 Tegal公司和我們的DRIE 3200高級 ICP備系統的重要取勝,確認為它不都Tegal的DRIE技術的領導和Tegal的增加價值為客戶提供可靠,生產,值得的DRIE工具和卓越的售後客戶支持,”彼得的Dijkstra說,全球銷售的副總裁,Tegal公司。 “我們的客戶選擇 Tegal重矽 DRIE工藝結果和行業的引用,客戶支持和服務的設備供應商的聲譽後,頭對麥芒的競爭。我們的客戶結束 Tegal的DRIE集群工具系統的價值主張是第二個在行業中首屈一指的,我們很高興已經選擇了這種矽的DRIE工具為了結果。“

MEMS傳感器製造,預計在短期內表現出的持續增長,MEMS傳感器變得越來越嵌入在智能手機,消費電子,醫療診斷,和汽車應用。矽的DRIE加工是MEMS傳感器製造的心臟,也成為一個日益重要的現代電力設備製造過程中的應用。

Tegal的DRIE 3200集群工具系統是一個高密度等離子體刻蝕工具,採用電感耦合等離子蝕刻反應器和磁等離子體約束。該工具可以運行 Tegal的專利夏普 - 超高長寬比工藝,在生產環境中實現的功能蝕刻縱橫比> 100:1。連同其高可靠性,廣泛的工藝窗口,和高蝕刻率,Tegal的DRIE 3200系統是一個發現的微機電系統 /微光機電系統,功率器件,光電,生物科技,您好,刻蝕矽和SOI襯底的關鍵推動者電壓的市場。

Last Update: 8. October 2011 20:52

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