Interferometer - das ZIELE Interferometer von Queensgate-Instrumenten

AZoNano - Nanotechnologie - Queensgate-Instrumente Zeichen

Themen Umfaßt

Hintergrund

Instrument Genauigkeit

Instrument Konfigurationen

Vorteile des ZIELE Interferometers

Maximale Flexibilität

Nanometric-Fähigkeit

Modularbauweise

SelbstAusrichtung

Ultra-Stabil

Benutzerfreundlichkeit

Anwendbar auf Feindliche Umgebungen

Prozessor Gesteuert

Modulierter BezugsRückstrahler

Merkmale

Technische Sonderkommandos

Hintergrund

Das ZIELE Interferometer stellt in 20 Jahren Vorderkanteentwicklung mit dem Ergebnis der bedienungsfreundlichen, robusten Produkte dar, die speziell für jede Maßanwendung optimiert worden sind.

AZoNano - Nanotechnologie: Inferometers - die ZIELE Inferometer von Queensgate-Instrumenten

Instrument Genauigkeit

Die Typischen Genauigkeiten, die von diesen hervorragenden Instrumenten erreichbar sind, sind:

•        Länge: + 1 nm über 25 mm oder 1.000 mm

•        Schwingung: + 1 nm über 25 mm

•        Winkel: + 0,01 Bogensekunden in 40 Lichtbogenminuten

•        Gasbrechungsvermögen: 2 x 10-8 über unbegrenzter Reichweite

•        Flüssiges Brechungsvermögen: 1 x 10-6 über unbegrenzter Reichweite

Instrument Konfigurationen

Alle Instrumentkonfigurationen werden um das AIMS™-Interferometer aufgebaut (Anpassungsfähige Interferometric Metrologie-Anlage). Dieses verwendet einen Heliumneon Lasersender und einen Jamin-Artigen Strahlenteilerblock ein zu, welchen befestigte passende Blöcke für jedes bestimmte Maßszenario sind.

Vorteile des ZIELE Interferometers

Die Auslegung des AIMS™-Interferometers hat die folgenden unterscheidenden Vorteile:

•        Maximale Flexibilität

•        Nanometric-Fähigkeit

•        Modularbauweise

•        Selbstausrichtung

•        Ultra-Stabil

•        Benutzerfreundlichkeit

•        Anwendbar auf feindliche Umgebungen

•        Prozessor gesteuert

•        Modulierter Bezugsrückstrahler

Maximale Flexibilität

Die innovative, patentierte optische Konfiguration wird als permanent eingebautes Instrument verwendet werden oder in Abnehmer-festgelegte Kleinteile enthalten möglicherweise.

Nanometric-Fähigkeit

Die optische Auslegung des AIMS™-Interferometerstrahlenteilers beseitigt automatisch unerwünschte Reflexionen von der optischen Anlage. Nur die unvermeidbaren „Selbst ausgerichtete“ Umherirrender zusammenfallend mit dem Gebrauch von Würfelecke Rückstrahlern bleiben in der Anlage und die Effekte „des schlimmsten Falls“ von diesen ist beträchtlich unterhalb der subnanometric Pfadunterschiedstufe. Ideal entsprochen für berührungsfreies, zerstörungsfreies Distanzadressemaß für MEMS-Einheiten.

Modularbauweise

Verschiedene kosteneffektive Blöcke werden ohne irgendeinen Kompromiss der Leistung verwendet möglicherweise.

SelbstAusrichtung

Die Bezugs- und Maßträger werden automatisch in eine geläufige Richtung mit den Rückstrahleranlagen ausgerichtet, die in der gleichen „Waffe“ jedes Interferometers sind. Dieses ergibt „Geläufigpfad“ und „null Totpfad“ Maßeigenschaften für das Instrument.

Ultra-Stabil

Jedes Interferometer wird um eine innovativer Geläufigpfad optische Konfiguration konstruiert, die sicherstellt, dass die Anlage zu unerwünschten mechanischen Änderungen unempfindlich ist und Luftbrechungskoeffizient ändert.

Benutzerfreundlichkeit

Der Gebrauch von Würfelecke Rückstrahlern benötigt nur zwei verhältnismäßig grundlegende Ausrichtungen, damit das Interferometer, diese arbeitet, die die Aufeinanderschichtung der Bezugs- und Maßträger zu Formular Interferograms sind und damit diese Interferograms auf Fotodetektoren fallen. Optimaler Kontrast wird verwirklicht, wenn die zwei Träger vollständig gelegt werden.

Anwendbar auf Feindliche Umgebungen

Indem man den Bezug und die beweglichen Rückstrahler durch ein optisches Fenster der geeigneten Qualität prüft, kann das Interferometer in den extrem feindlichen Umgebungen, das Instrument betrieben werden, das hohe Präzision „Geläufigpfad“ Maß verwirklicht, während total getrennt worden von der Umgebung. Der Messbereich des Instrumentes wird durch die Kohärenzlänge der Strahlenquelle gesteuert, die gewählt wird und „gleichen Sie Reichweite“ durch die Abweichung vom Laserstrahl aus.

Prozessor Gesteuert

Eine kundenspezifische elektronische Verarbeitungseinheit stellt sicher, dass jedes Interferometer mit optimaler Leistung funktioniert. Die Verarbeitungseinheit erlaubt auch, Daten vom Interferometer werden, außen in einem PC angezeigt zu werden oder gespeichert.

Modulierter BezugsRückstrahler

Das Modulatorgerät, zusammen mit seinem elektronischen Treibergerät wird eingesetzt, um den Strahlengang im Interferometer elektromechanisch zu scannen. Dieses ermöglicht die optische Ausrichtung der Anlage und die Kalibrierung der mathematischen Technik, die in der Software eingesetzt wird, um die elektronischen Signale zu optimieren. Die Regelung, die vom Gerät bereitgestellt wird, garantiert, dass die ZIELE Interferometeranlage verwirklicht nanometric Maßempfindlichkeit und -präzision.'

Merkmale

Das eindeutige Rückstrahlergerät enthält optische Ausrichtungsbediengeräte und der Interferometerkopf enthält eine Mikroverarbeitungsbehörde für die Opto-elektrische Signalaufbereitung und automatische elektronische Optimierung. Das Instrument ist zu den mechanischen Änderungen unempfindlich und setzt den Bedarf am Totpfad Fehlerausgleich herab.

AZoNano - Nanotechnologie: Inferometers - die ZIELE Inferometer-Formular Queensgate-Instrumente

Technische Sonderkommandos

Stabilisierter He/Ne Laser

Unstabilisierter He/Ne Laser

Messbereich (mm)

Bis 1000mm

25mm

OffsetReichweite (M)

Bis 1m

Bis 1m

Systemauflösung (nm)

Unten zu 1nm

Unten zu 1nm

Nominale Laser-Wellenlänge (nm)

632,8

632,8

Laser-Frequenz-Stabilität

2x10-8

2x10-8

Betriebstemperaturbereich (°C)

15-30

15-30

Atmosphärischer R.i. Variation Correction

- Standard

1x10-6

1x10-6

- Gas-Zelle Enthalten

5x10-8

5x10-8

Rückstrahler Automatische Elektronische Optimierung

Rückstrahler Übersetzungs-Kinetik (mm/s)

300

300

Bezugsrückstrahler (mm)

38

38

Beweglicher Rückstrahler (mm)

15

15

Inferometer-Kopf (mm)

98x96x56

98x96x56

- Vorverstärker-Behörde (Sünde/Lattich-Analogausgänge)

- Mikroprozessor-Behörde (Opto-Elektrische Signalaufbereitung)

Schnittstelle: Serienmäßig

RS232

RS232

Zuleitung Spannung (V)

100-240

100-240

Zeilenfrequenz (Hz)

47-60

47-60

Quelle: Queensgate Instruments Ltd.

Zu mehr Information über diese Quelle besuchen Sie bitte Queensgate Instruments Ltd.

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