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반자동 최신 돋을새김 시스템 - EV 단에게서 EVG520HE

반자동 최신 돋을새김 시스템 - EV 단에게서 EVG520HE

EVG520HE 반자동 최신 돋을새김 시스템은 돋을새김 및 nanoimprinting 응용을 위해 디자인됩니다. EVG 200까지 mm에서 이 생산 증명한 시스템은 기질을 받아들이고 표준 반도체 제조 기술과 호환이 됩니다.

최신 돋을새김 시스템은 보편적인 돋을새김 약실, 높 진공, 고열 및 높 접촉 군대 기능에 구성되고 최신 돋을새김을 위해 적당한 중합체와 몇몇 유리의 전체적인 범위를 처리합니다. 높 양상 비율 돋을새김 및 다중 de 돋을새김 선택권과 함께 고품질 패턴 이동 및 nm 해결책을 위한 많은 프로세스는 제안됩니다.

EVG520HE 반자동 최신 돋을새김 시스템의 특징은 다음을 포함합니다:

  • 중합체 기질의 그리고 중합체와 유리회전급강하 에 최신 돋을새김 및 nanoimprinting 응용을 위해
  • 자동화된 돋을새김 프로세스
  • EVG의 소유 광학적으로 맞추어진 돋을새김하고 찍기를 위한 분리되는 줄맞춤 프로세스
  • 압축 공기를 넣은 de 돋을새김 선택권
  • 소프트웨어 통제되는 프로세스 실행
  • UV-NIL 선택권

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