EV Group logo.

Semi-Автоматизированная Горячая Выбивая Система - EVG520HE от Группы EV

Semi-Автоматизированная Горячая Выбивая Система - EVG520HE от Группы EV

Система Semi-Автоматизированная EVG520HE Горячая Выбивая конструирована для выбивая и nanoimprinting применений. Эта продукци-доказанная система от EVG принимает субстраты до 200 mm и совместима с стандартными технологиями изготавливания полупроводника.

Горячая выбивая система установлена с возможностями всеобщей выбивая камеры, глубокого вакуума, high-temperature и усилия высок-контакта и управляет всем рядом полимеров и нескольких стекел соответствующих для горячий выбивать. Вместе с выбивать коэффициента высок-аспекта и множественные de-выбивая вариантами предложены много процессов для высокомарочного перехода картины и разрешения nm.

Характеристики Системы Semi-Автоматизированной EVG520HE Горячей Выбивая включают:

  • Для горячих выбивая и nanoimprinting применений субстратов полимера и закрутк-на полимерах и стеклах
  • Автоматизированный выбивая процесс
  • Процесс выравнивания proprietary EVG отдельно для оптически выровнянные выбивать и отпечатывать
  • Пневматические de-выбивая варианты
  • Исполнение контролируемого процесса ПО
  • Вариант UV-NIL

Other Equipment by this Supplier