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半自动化的热装饰的系统 - 从 EV 组的 EVG520HE

半自动化的热装饰的系统 - 从 EV 组的 EVG520HE

EVG520HE 半自动化的热装饰的系统为装饰的和 nanoimprinting 的应用设计。 从 EVG 的此生产证明的系统接受基体 200 mm 并且是与标准半导体制造技术兼容。

热装饰的系统配置以一个通用装饰的房间,高真空,高温和高联络强制功能并且管理聚合物和几块玻璃的全部的范围适用于热装饰。 与高方面比例装饰和多个非装饰的选项一起提供优质模式调用和 nm 解决方法的许多进程。

EVG520HE 半自动化的热装饰的系统的功能包括:

  • 对聚合物基体的热装饰的和 nanoimprinting 的应用和空转在聚合物和玻璃
  • 自动化的装饰的进程
  • 光学上对齐的装饰和印的 EVG 的业主单独对准线进程
  • 气动力学的非装饰的选项
  • 软件受控过程执行
  • UV-NIL 选项

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