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Sistema Automatizado de la Litografía de UV-NIL Nanoimprint - El Alineador del ÍNDICE DE INTELIGENCIA del Grupo de EV

Sistema Automatizado de la Litografía de UV-NIL Nanoimprint - El Alineador del ÍNDICE DE INTELIGENCIA del Grupo de EV

El Sistema Ultravioleta de la Litografía de Nanoimprint del Alineador del ÍNDICE DE INTELIGENCIA (UV-NIL) permite procesos micromolding y nanoimprinting con los sellos y los fulminantes a partir de 150 milímetros hasta el diámetro de 300m m. La fuerza Uniforme del contacto para la alta impresión de la área extensa del rendimiento es proporcionada por el diseño propietario del mandril del Grupo de EV que utiliza suavidad y sellos duros. Las Configuraciones incluyen los mecanismos de desbloquear para los sellos de los substratos impresos.

Características del Sistema del Alineador UV-NIL del ÍNDICE DE INTELIGENCIA

  • Para las aplicaciones micromolding de elementos ópticos
  • Para las aplicaciones nanoimprinting del campo completo
  • 3 z-husos independientemente controlados para la remuneración superior de la cuña entre el sello y el substrato
  • 3 z-husos independientemente controlados para el mando de TTV de la impresión resisten
  • Procesos Suaves de UV-NIL que utilizan sellos del funcionamiento de la suavidad
  • Función de-que graba completo automatizada del propietario de EVG
  • Resist dispensa la integración de la estación
  • Capacidades En Enlace de la alineación y de la Ultravioleta-vinculación

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