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자동화된 UV-NIL Nanoimprint 석판인쇄술 시스템 - EV 단에게서 IQ 동기기

자동화된 UV-NIL Nanoimprint 석판인쇄술 시스템 - EV 단에게서 IQ 동기기

IQ 동기기 자외선 Nanoimprint 석판인쇄술 (UV-NIL) 시스템은 150 mm에서 300mm 직경에 우표 그리고 웨이퍼를 가진 micromolding 및 nanoimprinting 프로세스를 허용합니다. 높은 수확량 큰 부위 인쇄를 위한 획일한 접촉 군대는 EV 단의 부드러움과 단단한 우표를 둘 다 지원하는 소유 물림쇠 디자인에 의해 제공됩니다. 윤곽은 찍힌 기질에서 우표를 위한 방출 기계장치를 포함합니다.

IQ 동기기 UV-NIL 시스템의 특징

  • 광학적인 성분의 micromolding 응용을 위해
  • 전분야 nanoimprinting 응용을 위해
  • 우표와 기질 사이 우량한 쐐기(wedge) 대상을 위한 3개의 단독 제어 z 스핀들
  • 인장의 TTV 통제를 위한 3개의 단독 제어 z 스핀들은 저항합니다
  • 부드러움 작업 우표를 이용하는 연약한 UV-NIL 프로세스
  • EVG의 소유 완전히 자동화된 de 돋을새김 기능
  • Resist 역 통합을 분배합니다
  • 노예 줄맞춤과 UV 접합 기능

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