Système Robotisé de Lithographie de Nanoimprint - L'Infini EVG6200 du Groupe d'EV

Le système de lithographie du nanoimprint EVG6200 automatisé par Infini est le point culminant du calendrier de lancement neuf de la dispositif d'alignement-technologie du Groupe d'EV. Un grand choix d'estampilles et de tailles de substrats de 75mm--200mm au au pouvoir être facilité sur l'Infini EVG6200 pour des applications de lithographie de nanoimprint.

Comporte le Système de ZÉRO EVG6200 automatisé par Infini

  • Lithographie de Nanoimprint et impression de contact micro
  • Exposition de lumière UV
  • Outillage Dédié pour UV-NIL
  • Hébergement des estampilles molles et dures
  • Type de substrats : SI, glace, semi-conducteurs composés

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