Sistema Automatizzato di Litografia di Nanoimprint - L'Infinito EVG6200 dal Gruppo di EV

Il sistema della litografia del nanoimprint automatizzato l'Infinito EVG6200 è il punto carta stradale della aligner-tecnologia del Gruppo di EV di nuova. Vari bolli e dimensioni dei substrati da 75mm--200m'al possono a essere accomodati sull'Infinito EVG6200 per le applicazioni della litografia del nanoimprint.

Caratterizza il Sistema di ZERO automatizzato l'Infinito EVG6200

  • Litografia di Nanoimprint e micro stampa di contatto
  • Esposizione della luce UV
  • Lavorazione con utensili Dedicata per UV-NIL
  • Accomodazione sia dei bolli molli che duri
  • Tipo di substrati: Si, vetro, semiconduttori composti

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