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Système Robotisé de Métallisation du Disque EVG540 de Groupe d'EV

Le Système de Métallisation de Disque Automatisé par EVG540 est un bonder robotisé de production d'unique-cavité conçu pour la ligne et la fabrication pilote ainsi que R&D pour la fabrication à fort débit dans l'Emballage de Niveau de Disque, le 3D-Interconnect et les applications de MEMS. Basé sur le design modulaire l'EVG540 fournit une solution prouvée pour le passage postérieur des procédés de métallisation de disque de stade de R&D à la fabrication de grande puissance sur nos systèmes entièrement intégrés de métallisation de production.

Caractéristiques techniques du Système d'Obligation de Disque Automatisé par EVG540

  • traitement Plein-Automatisé avec la charge robotisée et déchargement des mandrins en esclavage
  • Bonder Unique de production de cavité
  • Manipulation Automatique de jusqu'à quatre mandrins en esclavage
  • Conforme aux normes de sécurité élevées
  • Design en esclavage Modulaire de cavité
  • Refroidissement latéral de bas Actif

Caractéristiques du Système d'Obligation de Disque Automatisé par EVG540

  • Taille de Chaufferette = diamètre Maximal de disque : 150 millimètres, 200mm, 300mm
  • Diamètre Minimal de disque : chaufferette de 150mm : 50mm ; chaufferette de 200mm : 100mm, chaufferette de 300mm : 200mm
  • Système En Esclavage de mandrin/système de Cadrage :
  • chaufferette de 150mm : EVG620, EVG6200, Dispositif D'alignement de QI, SmartView
  • chaufferette de 200mm : EVG6200, Dispositif D'alignement de QI, SmartView
  • chaufferette de 300mm : Dispositif D'alignement de QI, SmartView
  • Force Maximale de contact : 3.5kN, 7kN, 10 kN, 20 kN, 40 kN, kN 60
  • La température Maximale : 550°C (600°C optionnel)
  • Aspirateur : 1E-3 mbar (normal), 1 E-5 (optionnel), Contrôleur d'aspirateur et gazoducs de procédé optionnels
  • Bloc d'alimentation pour la métallisation anodique : 0-2.000V/50mA
  • Cavité de Charge : robot triaxial
  • Procédé (recette) compatible avec des GÉMEAUX
  • Nombre Maximal des cavités en esclavage : 1
  • Abonnée/application : pilote-line +manufacturing, fabrication à fort débit

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