Posted in | Wafer Bonders

EVG540 het Geautomatiseerde Systeem Plakkend van het Wafeltje van Groep EV

Het EVG540 Geautomatiseerde Systeem Plakkend van het Wafeltje is een geautomatiseerde single-chamber productie bonder dat voor proeflijn en productie wordt ontworpen evenals R&D voor hoog volume productie in de Verpakking, het 3D-Interconnect en de toepassingen MEMS van het Niveau van het Wafeltje. Gebaseerd op modulair ontwerp verstrekt EVG540 een bewezen oplossing voor recentere overgang van wafeltjeprocessen plakkend van het stadium van R&D aan productie op grote schaal op onze volledig geïntegreerde productiesystemen plakkend.

Eigenschappen van het EVG540 Geautomatiseerde Systeem van de Band van het Wafeltje

  • Volledig-Geautomatiseerde verwerking met geautomatiseerde lading en het leegmaken bandklemmen
  • Enige kamerproductie bonder
  • Automatische behandeling van zelfs vier bandklemmen
  • Volgzame aan hoge veiligheidsnorm
  • Het Modulaire ontwerp van de bandkamer
  • Het Actieve bodem zij koelen

Specificaties van het EVG540 Geautomatiseerde Systeem van de Band van het Wafeltje

  • De grootte van de Verwarmer = Max. wafeltjediameter: 150 mm, 200mm, 300mm
  • Min. wafeltjediameter: 150mm verwarmer: 50mm; 200mm verwarmer: 100mm, 300mm verwarmer: 200mm
  • De klemsysteem van de Band/het systeem van de Groepering:
  • 150mm verwarmer: EVG620, EVG6200, Aligner van de IQ, SmartView
  • 200mm verwarmer: EVG6200, Aligner van de IQ, SmartView
  • 300mm verwarmer: Aligner van de IQ, SmartView
  • Max. contactkracht: 3.5kN, 7kN, 10 kN, 20 kN, 40 kN, kN 60
  • Max. temperatuur: 550°C (facultatieve 600°C)
  • Vacuüm: 1E-3 mbar (norm), 1 e-5 (facultatief), vacuümcontrolemechanisme en facultatief procesgasleidingen
  • De levering van de Macht voor het anode plakken: 0-2.000V/50mA
  • De kamer van de Lading: robot met 3 assen
  • Van het Proces (recept) het compatibele systeem met TWEELING
  • Max. aantal bandkamers: 1
  • Klant/toepassing: proef-lijn +manufacturing, hoog volume productie

Other Equipment by this Supplier