FEI Anuncia o Membro O Mais Novo da Família de Helios NanoLab

Empresa de FEI (Nasdaq: FEIC), um fornecedor principal da imagem lactente da atômico-escala e os sistemas de análise, anunciaram hoje o membro o mais novo da Família de Helios NanoLab (TM) -- o sistema Completo de DualBeam da Bolacha de Helios 1200 (TM). A capacidade de Helios 1200 para analisar bolachas completas até 300 milímetros melhora a eficiência dos laboratórios do apoio da análise e da fabricação da falha do armazenamento de dados do semicondutor e que precisam de entregar rapidamente dados exactos ao assoalho da produção.

“Nós projectamos Helios novo DualBeam 1200 fornecer a produtividade máxima para a análise da falha, revelação de processo e exigências controles de processos,” disse Larry Dworkin, gerente de marketing de produto para sistemas completos da bolacha de FEI. “A capacidade para introduzir bolachas completas directamente no sistema permite que os usuários naveguem directamente às características múltiplas do interesse baseadas em dados ou em informação de projecto de outras ferramentas da inspecção e da detecção do defeito. O interruptor Rápido entre a imagem lactente e a trituração permitem o controle preciso, eficiente do processo de secção transversal. E a definição da imagem lactente significativamente melhor do que todo o outro instrumento em sua classe assegura resultados analíticos superiores.”

Helios 1200 combina a definição de imagem do microscópio de elétron (SEM) da exploração da mundo-classe e o interruptor extremamente rápido entre a imagem lactente e o feixe de íon que mmoem para entregar a análise de secção transversal rápida, segura, eficiente das estruturas e os defeitos. Sua capacidade para acomodar bolachas completas até 300 milímetros elimina o tempo exigido para restabelecer o sistema coordenado navegacional ao trabalhar com partes da bolacha.

“Nos quase dois anos desde sua introdução, nossos sistemas de Helios NanoLab DualBeam da pequeno-câmara foram instalados em cada vanguarda fabuloso no mundo,” disse Rudy Kellner, vice-presidente e director geral da Divisão da Eletrônica de FEI. “Agora, pela primeira vez, nós podemos oferecer o mesmo desempenho em um sistema completo da bolacha.”

Quando a análise exige a capacidade mais de alta resolução de um microscópio de elétron dedicado da transmissão da exploração (S/TEM), a tecnologia de s Multiloader de FEI '(TM) permite transferência rápida e segura da amostra. O produto de software novo da automatização de FEI, iFAST, melhora a qualidade e a consistência de amostras múltiplas, local-específicas em uma única sessão em uma custo-por-amostra que seja competitiva com preparações convencionais da amostra do volume de SEM. A espectrometria dispersiva do Raio X da energia Opcional (EDS) em amostras finas oferece a análise compositiva com definição espacial muito boa.

O micromanipulador opcional de OmniProbe permite a extracção in situ do lamella preparado de TEM. O processo novo da troca da agulha da em-câmara de OmniProbe 300's elimina a necessidade de quebrar o vácuo da câmara para obter uma ponta de prova nova.

O sistema 1200 novo de Helios NanoLab DualBeam está disponível agora.

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