Schnelles, Bedienungsfreundliches S/TEM Erhöht Drastisch Produktivität in den Halbleiter-Herstellungs-Anwendungen

FEI-Firma (Nasdaq: FEIC), ein führender Anbieter von den Atom-schuppe Darstellungs- und Analyseanlagen, kündigte heute die Freisetzung von dem Scannen Tecnai Osiris (TM)/dem Durchstrahlungselektronenmikroskop (S/TEM) an, revolutionäre analytische Drehzahl und Leistung entbinden. Es umfaßt neue ChemiSTEM-Technologie FEIS, die die Zeit für das elementare Abbilden des großen Blickfeldes von Stunden zu Protokoll verringert. Das Tecnai Osiris wird konstruiert, um diesen analytischen Durchsatz des Durchbruches mit außergewöhnlicher Benutzerfreundlichkeit zu kombinieren, um die Bedingungen für industrielle und Gemeinschaftsgroßserienforschungslabors zu erfüllen.

Die Patent-schwebende ChemiSTEM-Technologie aktiviert das Tecnai Osiris, einen Faktor von 50 oder mehr Verbesserung in der Drehzahl des dispersiven elementaren Abbildens des Röntgenstrahls der Energie (EDX), durch die Kombination von technischen Fortschritten in der Trägergeneration mit Schädlichen Änderungen im EDX-Signalbefund zu erzielen. Das Tecnai Osiris wird auf einer Plattform aufgebaut, die konstruiert wird, um Produktivität und Anlagenrendite in der Großserienanalyse zu maximieren.

Tony Edwards, Senior-Vizepräsident FEIS von Marktabteilungen, fügt hinzu, „das Tecnai Osiris spricht den Bedarf unserer Forschung und der Industrieabnehmer an, der zunehmende Bedeutung auf elementare Zusammensetzungsanalyse und das Abbilden aller Proben legen, aber bis jetzt, könnte ein S/TEM mit der erforderlichen analytischen Drehzahl und der Benutzerfreundlichkeit nicht finden, um diese Anforderung zu unterstützen. Zum Beispiel treibt die fortfahrende Abnahme an den Einheitsgrößen und an der starken Verbreitung von neuen Materialien in der Halbleiterherstellung und das Aussehen von mehr Proben mit unbekannter Zusammensetzung in den Gemeinschaftsforschungsteildiensten den Bedarf an einem S/TEM, welches die Benutzerfreundlichkeit von EDX-Analytics mit einer elementaren abbildenden Drehzahl versieht, die vergleichbar ist mit STAMM-Darstellung.“

Edwards fügt hinzu, „das Tecnai Osiris wurde konstruiert, um diesen aktuellen Abstand im Markt zu füllen, indem man das elementare Abbilden mit großer Bereich-vonansicht in Protokoll anstelle der Stunden versah, und ohne den Bedarf an einem Operator bildete in hohem Grade im komplexen Analytics aus. Diese Benutzerfreundlichkeit wird weiter durch die neue Fernsteuerungsschnittstelle SmartCam ausgedehnt, die Experten aktiviert, Fernlenkung in den Gemeinschafts- oder industriellen Teildiensten zu weniger erfahrenen Operatoren zur Verfügung zu stellen.“

Die Tecnai-Zeile hat eine lange Geschichte der Leistung und Zuverlässigkeit als Arbeitspferdhilfsmittel in den industriellen Anwendungen. Das Tecnai Osiris, ein 200 KV (kV) S/TEM, setzt die Tecnai-Tradition mit der Einführung von zahlreichen technischen Innovationen fort und umfaßt: ChemiSTEM, das die eigene X-FEG Elektronenquelle hoher Helligkeit und Super--x enthält, EDX-Erfassungssystem FEIS neues basierte auf Silikon-Antrieb-Detektor (SDD)technologie; Beispielhandhaben MultiLoader (TM), das thermische Gleichgewichtherstellungszeit verringert, nachdem Probe bis zum zehnmal mit angemessenen Verbesserungen in den Zeit-zudaten austauscht; und das neue Energieverlustspektrometer des Elektrons FS-1, das ElektronEnergieverlustspektrometriedrehzahl (EELS) und -empfindlichkeit verbessert; sowie andere Verbesserungen wie die Fernsteuerungskamera SmartCam, langlebige das Zubehör des flüssigen Stickstoffes und mehr.

„Wenn revolutionäre analytische Drehzahl, Durchsatz und Benutzerfreundlichkeit in einem zuverlässigen, Allzweck-S/TEM kritisch sind, ist das Tecnai Osiris die ideale Lösung,“ Zustände Edwards.

Das Tecnai Osiris S/TEM ist für sofort bestellen erhältlich. Zu mehr Information besuchen Sie bitte: www.fei.com.

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