オックスフォードの器械血しょう技術は Nanofab 800 の敏捷なシステムの進水を発表します

オックスフォードの器械血しょう技術のためのプロセスそしてシステムのリーダーはエッチング、沈殿および成長 (OIPT)、ちょうど Nanofab800Agile システムを進水させました。 nanotubes および nanowires の触媒の処置そして制御可能な成長を、提供するかどれが標準および高温 PECVD を渡すことに加えてこの新しいツール非常に適用範囲が広いツールの Nanofab の範囲をおよび証明されたプロセスは拡張します。

Nanofab800Agile システムは nanostructures の成長に影響を及ぼす開発の機会を提供します。 800oC までの温度、および急速な所要のための敏捷な暖房および冷却によってシステムはまたアラインメントの制御および nanostructures の次元を提供します。

付加給付は最大値 200mm のウエファー、優秀な温度の均等性および敏捷な温度調整まで可変的なサンプルの大きさを含んでいます。 システムは真空ロードロックによってプロセス反復性および区域の清潔を保障するために設定されます。

フィルムの圧力の一直線に並べられた成長そして制御のためのカスタム開発されたセットアップの任意選択液体ソース投射手段、特色にして、 Nanofab800Agile に高圧および高い流れの政体で処理する機能があり。

会社私達が絶えず私達の顧客に提供する製品を改良するように努力していると同時にイアン McKinlay は、 OIPT のための年長のプロダクトマネージャーコメントします、 「。 私達の範囲へのこの最新の付加は私達の顧客が進んだ機能から、急速な暖房および冷却のサイクルのような、優秀な温度の均等性およびプロセス制御寄与することを意味します。 これは進行中の優秀なカスタマーサービスおよびサポートへの私達の責任と結合される OIPT の広範なプロセスライブラリおよびアプリケーション専門知識によってバックアップされます」。

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