牛津仪器等离子技术宣布 Nanofab 800 敏捷系统生成

领导先锋在进程和系统中铭刻,证言和增长的,牛津仪器等离子技术 (OIPT),发行了 Nanofab800Agile 系统。 此新工具延伸高度灵活的工具的 Nanofab 范围和证实的进程除传送标准和高温 PECVD 之外,哪些提供催化剂处理和 nanotubes 和 nanowires 可控制的增长。

Nanofab800Agile 系统提供发展机会影响 nanostructures 增长。 至 800oC 的温度和敏捷热化和冷却迅速周转的系统也提供对准线 nanostructures 的控制和维数。

附加利益包括可变的样本大小至最大数量 200mm 薄酥饼、非常好的温度均一和敏捷温度控制。 这个系统配置以真空负荷锁定保证处理反复性和房间洁净。

以选项液体来源送货系统为特色,和与影片重点对齐的增长和控制的按客户需要开发的设置, Nanofab800Agile 在高压和高流政权有这个能力处理。

伊恩 McKinlay, OIPT 的高级产品管理器评论, “当公司我们经常努力改进提供为我们的客户的这个产品。 对我们的范围的此最新的添加意味我们的客户将受益于先进特点,例如迅速热化和冷却的循环,非常好温度均一和程序控制。 这由 OIPT 的广泛的处理图书馆和应用专门技术支持,结合与我们的对持续的非常好的客户服务部和技术支持的承诺”。

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