STnano 採購 Plasmalab 系統 80 加上從牛津儀器等離子技術的 ICP 系統

牛津儀器等離子技術 (OIPT)在史特拉斯堡, Plasmalab 系統 80 用品的法國最近獲得了同法國研究中心, STnano 的合同加上 ICP 系統。

牛津儀器等離子技術的 Plasmalab80 加上 ICP 系統

STnano 是新的史特拉斯堡極小製作平臺,共同地設立由 IPCMS (CNRS 實驗室) 和大學史特拉斯堡 (UdS),并且有專門技術在 nanostructures 設計通過自頂向下方法和他們的磁性的研究。

牛津儀器的 Plasmalab System80Plus 系統是等離子蝕刻和證言進程的一個靈活,緊湊和經濟解決方法。 STnano 採購引人地耦合的等離子 (ICP)配置,處理多個材料包括硅銘刻。 System80Plus 銘刻的也是可用的配置的 OIPT 的 Plasmalab 和證言 (ICP-PECVD),易反應的離子蝕刻 (RIE)、等離子蝕刻 (PE)或者等離子改進的化學氣相沉積 (PECVD)。

Hicham Majjad, STnano 的極小製作經理博士,說研究中心選擇了牛津儀器工具,當它適合了他們的研究需求。 「因為一個主導的法國研究中心我們需求了最高的說明系統我們可能查找適合我們執行的工作的說明。 Plasmalab80 加上開放負荷設計允許快速裝載和轉存,理想對原型和低容積生產環境例如我們的。 這個系統被採購作為 STnano 的程序一部分用納諾和微縮放比例製造的科技目前進步水平手段裝備我們的清潔的房間在分子電子, spintronic 和聚合物的域」。

「因為他們尋找在供應的銘刻工具的世界領導人對這個納諾社區,加上我們的專門技術在加工技術, OIPT 能精密地提供 STnano 系統」,備注標記 Vosloo, OIPT 的經銷總理, 「我們自傲在工藝工程師我們有經驗的小組,能提供進程和技術為了支持我們的苛求需求的客戶」。

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