Los Instrumentos de Oxford Anuncian Mejorado Fin-Apuntando Capacidad en las Herramientas del Grabado De Pistas y de la Deposición del Plasma

La Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford (OIPT) está satisfecha anunciar mejorado fin-apuntando capacidad en su rango de las herramientas del grabado de pistas y de la deposición del plasma, con la introducción del sistema del Espectrómetro CCD1. El CCD1 es capaz de captura proporcionar a una capacidad endpointing del proceso, y del espectro de UV/VIS, y está disponible como opción estándar en todas las nuevas herramientas o como opción de mejora para los clientes existentes de los Instrumentos de Oxford.

Este espectrómetro proporciona a una ruta de poco costo a endpointing y a la espectroscopia de fines generales, sin el compromiso en fuerza de la resolución o de señal.

El CCD1 es un espectrómetro del CCD de UV/VIS que puede vigilar una amplia gama de emisiones del plasma sobre las longitudes de onda 200nm-880nm. Esta unidad se puede utilizar en una de dos maneras: detección de proceso de la punto final vía el software del PC2000™ de OIPT, o visión y registro completos del espectro. Esto provee del utilizador la información detallada de la espectroscopia del plasma, que se puede utilizar para vigilar las concentraciones de especies dentro del plasma. Los espectros se pueden también comparar a los datos espectrales anteriores - para la supervisión de sistema, la detección de avería y la clasificación de la avería del potencial.

Ahora disponible como una opción del sistema en las nuevas herramientas del grabado de pistas y de la deposición de OIPT, el espectrómetro CCD1 se puede también ofrecer como mejora a los sistemas en el campo, relacionado en la edad, el tipo, y la configuración del sistema.

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