De Instrumenten van Oxford Kondigt aan Beter eind-Richtend Vermogen op Plasma Ets en van het Deposito de Hulpmiddelen

De Technologie van het Plasma van de Instrumenten van Oxford (OIPT) is pleased aan te kondigen beter eind-richtend vermogen op zijn gamma van plasma ets en deposito, met de introductie van het CCD1 systeem van de Spectrometer hulpmiddelen. CCD1 kan zowel een proces endpointing vermogen, als spectrum verstrekken UV/VIS vangt, en is beschikbaar als standaardoptie op alle nieuwe hulpmiddelen of als verbeteringsoptie voor de bestaande klanten van de Instrumenten van Oxford.

Deze spectrometer verstrekt een rendabele route aan het algemene de doel endpointing en spectroscopie, zonder het compromitteren op resolutie of signaalsterkte.

CCD1 is een spectrometer UV/VIS CCD die een brede waaier van plasmaemissies over golflengten 200nm880nm kan controleren. Deze eenheid kan in één van twee manieren worden gebruikt: de opsporing van het proceseindpunt via de software PC2000™ van OIPT, of volledig en spectrum die bekijken registreren. Dit voorziet de gebruiker van de gedetailleerde informatie van de plasmaspectroscopie, die voor de controle van de concentraties van species binnen het plasma kan worden gebruikt. De spectrums kunnen ook bij vorige spectrale gegevens - voor systeem controle, foutenopsporing en potentiële foutenclassificatie worden vergeleken.

Nu beschikbaar als systeem etst een optie op nieuwe OIPT en de depositohulpmiddelen, de CCD1 spectrometer kunnen ook als verbetering aan systemen op het gebied worden aangeboden, afhankelijk van de de het systeemleeftijd, type, en configuratie.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit