Oxford Instrumenterar Meddelar att Förbättrat Avsluta-Peka Kapacitet på Plasma Etsa och Avlagring Bearbetar

Oxford Instrumenterar PlasmaTeknologi (OIPT) behas för att meddela att förbättrat avsluta-peka kapacitet på dess spänna av plasma etsar och avlagring bearbetar, med inledningen av systemet för Spectrometeren CCD1. CCD1EN är kapabel av tillfångatagande för ge både en processaa endpointing kapacitet och UV-/VISspectrumoch är tillgänglig, som ett standart alternativ på all nytt bearbetar, eller som ett förbättringsalternativ för existerande Oxford Instrumenterar kunder.

Denna spectrometer ger eneffektiv rutt till generalen ämnar endpointing och spektroskopin, utan att kompromissa på upplösning eller signalerar styrka.

CCD1EN är en UV-/VISCCD-spectrometer som kan övervaka en lång räcka av plasmautsläpp över våglängder 200nm-880nm. Denna enhet kan användas i en av två väg: processaa endpointupptäckt via OIPTS PC2000™-programvara, eller full spectrumvisning och inspelning. Detta ger användaren med specificerad information om plasmaspektroskopin, som kan användas för att övervaka koncentrationerna av art inom plasmaet. Spectrana kan också jämföras till föregående spektral- data - för systemövervakning, kritiserar upptäckt, och potentiellt kritisera klassifikationen.

Nu tillgängligt, som ett systemalternativ på ny OIPT etsar, och avlagring bearbetar, kan spectrometeren CCD1 också erbjudas som en förbättring till system i sätta in, anhörig på systemåldern, typ och konfiguration.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit