Los Instrumentos de Oxford Introducen el Sistema de PlasmaPro NGP80

Un arranque de cinta en las herramientas para el grabado de pistas, la deposición y el incremento, Instrumentos de Oxford acaba de poner en marcha su sistema de PlasmaPro NGP80. Una herramienta compacta del abierto-cargamento, grabado de pistas del plasma de las ofertas de PlasmaPro NGP80 y soluciones versátiles de la deposición en una plataforma con el cargamento abierto conveniente.

Su pequeño sistema de la huella es fácil de situar y fácil de utilizar, sin compromiso sobre calidad de proceso, y con configuraciones múltiples de la tecnología de proceso. El PlasmaPro NGP80 se adapta idealmente al R&D o a la producción a escala reducida, y puede tramitar de los pedazos más pequeños del fulminante hasta los fulminantes de 200m m. El diseño abierto de la carga permite el cargamento rápido y la descarga del fulminante, los ideales para la investigación, la creación de un prototipo y la producción de poco volumen. Otras características dominantes del PlasmaPro NGP80 son el último sistema de mando del OMNIBUS de la generación, ésa aumenta grandemente la extracción de datos y entrega corresponder con más rápido y más repetible, y la facilidad sin obstrucción del acceso a los componentes claves para el abastecimiento y el mantenimiento mejorados.

Las configuraciones múltiples en oferta, medio de RIE, de PECVD, del ICP y de RIE/PE que NGP80 ofrece una solución para una amplia gama de aplicaciones, incluyendo procesos del grabado de pistas de III-V, Silicio Bosch y los procesos del cryo-grabado de pistas, Diamante Como la deposición (DLC) del Carbón, grabado de pistas de SiO2 y del cuarzo, deposición dura de la máscara y grabado de pistas para la producción y mucho más de la alta brillantez LED.

El Laboratorio de Investigación de la Física de Nanoscale en la Universidad de Birmingham trialling el NGP80 por encima un año, usando la herramienta para investigar el revelado de las nuevas fotoprotecciones para la litografía de la generación siguiente, y la fabricación del alto silicio de la relación de aspecto basó los emisores del campo.

El Dr. Alex Robinson está dirigiendo la investigación y ha estado satisfecho extremadamente con los resultados de PlasmaPro NGP80, “El Plasmapro NGP80 ha aumentado importante nuestras capacidades de la aguafuerte. El nuevo software es muy simple aprender, sino permitir considerable adaptabilidad de construir procesos complejos. La repetibilidad Excelente así como la registración de parámetro completa ha activado una transferencia rápida de los pasos de progresión previamente desarrollados de la fabricación a la nueva máquina, consolidando el trabajo hecho previamente en varios diversos etchers, mientras que la adaptabilidad y la facilidad de empleo han permitido que desarrollemos nuestra investigación en nuevas direcciones.”

El equipo fue comprado con el proyecto AM1: Creando y Caracterizando la Generación Siguiente de Materiales Avanzados. Este proyecto es parte de una inversión importante en la infraestructura de la investigación financiada por la Ventaja West Midlands y el Fondo Europeo De Desarrollo Regional (ERDF) bajo iniciativa más amplia de la Ciudad de la Ciencia de Birmingham. La inversión ha unido las Universidades de Birmingham y de Warwick en una Investigación recién formado Alliance de la Ciudad de la Ciencia para avance la innovación dentro de la región.

El Director de Ventas para OIPT, Marca Vosloo, dice que el lanzamiento es extremadamente positivo para ambos OIPT y sus clientes, “Pues una compañía estamos comprometidos a la innovación de producto constante para ofrecer a nuestros clientes las últimos técnicas y sistemas de proceso del grabado de pistas, de la deposición y del incremento. NGP80 se ha desarrollado para permitir una producción más rápida, y mayor repetibilidad en un costo reducido al cliente. Con tales juicios acertadas en la Universidad de Birmingham ahora completa, nos sentimos confiados que nuestros clientes encontrarán el PlasmaPro NGP80, Generación Siguiente que la herramienta del Plasma está viviendo hasta su nombre.”

Los Instrumentos de Oxford apuntan perseguir el revelado responsable y una comprensión más profunda del mundo con Ciencia y Tecnología, y esta últimas innovación y colaboración de producto con una universidad de cabeza de la investigación refuerza esto.

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