De Instrumenten van Oxford Introduceert het Systeem van PlasmaPro NGP80

Een leider in hulpmiddelen voor etst, deposito en de groei, de Instrumenten van Oxford heeft net zijn systeem van PlasmaPro NGP80 gelanceerd. Een compact open-laadt hulpmiddel, PlasmaPro NGP80 biedt veelzijdig plasma aan etst en depositooplossingen op één platform met geschikte open lading.

Zijn klein voetafdruksysteem is gemakkelijk en makkelijk te gebruiken aan plaats, zonder compromis op proceskwaliteit, en met de veelvoudige configuraties van de procestechnologie. PlasmaPro NGP80 is ideaal gezien geschikt voor R&D of kleinschalige productie, en kan van de kleinste wafeltjestukken aan 200mm wafeltjes verwerken. Het open ladingsontwerp staat het snelle wafeltje ideale lading en leegmaken, voor onderzoek, prototyping en kleine productie toe. Andere zeer belangrijke eigenschappen van PlasmaPro NGP80 zijn het recentste de controlesysteem van de generatieBUS, dat zeer gegevensherwinning verhoogt en snellere en herhaalbaardere aanpassing, en het duidelijke gemak van toegang tot zeer belangrijke componenten voor het beter onderhouden en onderhoud levert.

De veelvoudige configuraties op aanbieding, RIE, PECVD, ICP & RIE/PE betekenen dat NGP80 een oplossing voor een brede waaier van toepassingen aanbiedt, met inbegrip van IIIV etsen processen, Silicium Bosch en cryo-etsen processen, Diamant Zoals het deposito (DLC) van de Koolstof, etsen SiO2 en het kwarts, hard maskerdeposito en etsen voor hoge helderheids LEIDENE productie en veel meer.

Het Laboratorium van het Onderzoek van de Fysica Nanoscale bij de Universiteit van Birmingham trialling NGP80 voor over een jaar, gebruikend het hulpmiddel om de ontwikkeling van nieuwe photo-resists voor volgende generatielithografie te onderzoeken, en de vervaardiging van hoge aspectverhouding silicium gebaseerde gebiedszenders.

Dr. Alex Robinson leidt het onderzoek en met de resultaten van PlasmaPro NGP80 uiterst geleid, „Plasmapro NGP80 heeft beduidend onze etsmogelijkheden verbeterd. De nieuwe software is zeer eenvoudig te leren, maar staat aanzienlijke flexibiliteit toe om complexe processen te bouwen. De Uitstekende herhaalbaarheid samen met uitvoerig parameterregistreren heeft een snelle overdracht van eerder ontwikkelde vervaardigingsstappen aan de nieuwe die machine toegelaten, consoliderend werk eerder op verscheidene verschillende etchers wordt het gedaan, terwijl de flexibiliteit en de handigheid ons hebben toegestaan om ons onderzoek naar nieuwe richtingen te ontwikkelen.“

De apparatuur werd gekocht door het AM1 project: Het Creëren van en het Kenmerken van Volgende Generatie van Geavanceerde Materialen. Dit project maakt deel van een belangrijke die investering in onderzoekinfrastructuur door Voordeel West Midlands en het Europees Fonds Voor Regionale Ontwikkeling uit onder (ERDF) het bredere initiatief van de Stad van de Wetenschap van Birmingham wordt gefinancierd. De investering heeft de Universiteiten van Birmingham en Warwick in een pas gevormd Onderzoek Alliance van de Stad van de Wetenschap verenigd om innovatie binnen het gebied vooruit te gaan.

De Directeur van de Verkoop voor OIPT, Teken Vosloo, zegt de lancering voor zowel OIPT als zijn klanten, „Als bedrijf uiterst positief is wij aan constante productinnovatie geëngageerd zijn om onze klanten de recentste procestechnieken aan te bieden en de systemen in, deposito en de groei etsen. NGP80 is ontwikkeld om snellere productie, en grotere herhaalbaarheid aan lagere kosten aan de klant toe te staan. Met dergelijke succesvolle proeven bij nu volledige de Universiteit van Birmingham, zijn wij zeker dat onze klanten PlasmaPro NGP80 zullen vinden, leeft het hulpmiddel van het Plasma van de Volgende Generatie zijn naam na.“

De Instrumenten van Oxford poogt verantwoordelijke ontwikkeling en dieper begrip van de wereld door Wetenschap en Technologie na te streven, en deze recentste productinnovatie en samenwerking met een belangrijke onderzoekuniversiteit versterken dit.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit