牛津仪器引入 PlasmaPro NGP80 系统

在工具的领导先锋为铭刻、证言和增长,牛津仪器发行了其 PlasmaPro NGP80 系统。 一个紧凑开放装载工具, PlasmaPro NGP80 聘用多才多艺的等离子铭刻和证言解决方法在一个平台有方便开放装载的。

其小的脚印系统是容易选址和易用,没有在处理质量的妥协和与多个加工技术配置。 PlasmaPro NGP80 理想地说配合与 R&D 或小规模生产,并且可能从最小的薄酥饼部分处理到 200mm 薄酥饼。 开放负荷设计允许快速薄酥饼装载和转存,理想对研究、原型和低音量生产。 PlasmaPro NGP80 的其他关键功能是最新的生成公共汽车控制系统,那非常地增加数据检索并且提供更加快速和更加可重复符合和存取清楚的方便对关键部件的被改进的为服务和维护的。

在聘用的多个配置, RIE、 PECVD、 ICP & RIE/PE 平均值 NGP80 提供各种各样的应用的一个解决方法,包括 III-V 铭刻进程、硅 Bosch 和 cryo 铭刻进程,象碳证言的 (DLC)金刚石、 SiO2 和石英铭刻、困难屏蔽证言和铭刻高亮度 LED 生产和许多的。

伯明翰大学的 Nanoscale 物理研究实验室 trialling NGP80 一年,使用工具研究新的光致抗蚀剂的发展下一代石版印刷的,并且生产高长宽比硅根据域放射器。

亚历克斯鲁宾逊博士朝向这个研究和非常喜欢与 PlasmaPro NGP80 结果, “Plasmapro NGP80 显著提高了我们的蚀刻功能。 新的软件是非常简单了解,但是允许严重的灵活性建立复杂进程。 与全面参数记录一起的非常好的反复性启用了以前被开发的制造步骤迅速调用到新的设备,统一在几个不同的蚀刻师以前完成的工作,灵活性和易用允许我们开发我们的对新的方向的研究”。

设备通过这个 AM1 项目被采购了: 创建和分析高级材料的下一代。 此项目是一次主要投资的一部分在好处资助的研究基础设施西米德兰平原和欧洲区域发展资金的 (ERDF)根据更宽的伯明翰科学城市主动性。 这次投资团结伯明翰大学和 Warwick 一个新形成的科学城市研究联盟的提前创新在这个区域内。

OIPT 的标记 Vosloo 经销总理,说生成为两个 OIPT 和其客户是非常正的, “因为公司我们做到恒定的产品创新为了提供我们的客户最新的处理技术和系统在铭刻、证言和增长。 NGP80 被开发允许更加快速的处理量和更加极大的反复性在减少的费用对这个客户。 在完全现在伯明翰的大学的这样成功的试算,我们确信我们的客户将查找 PlasmaPro NGP80,下一代工具符合其名字的等离子”。

牛津仪器打算通过科学技术继续处理负责的发展和对这个世界的更加深刻的理解,并且此最新的产品创新和协作与一所主导的研究大学加强此。

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