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卡尔蔡司引入猎户星座的新的气体注射系统加上氦气离子显微镜

卡尔蔡司今天引入 ORION® 的新的气体注射系统加上氦气离子显微镜。 惰性气体离子子毫微米 (较少比 0.35nm) 探测的组合与一个小的交往数量在范例表面启用高度准确的归纳化学。 发生的结构有非常小的 dimen- sions 和鲜明的姿态保真度。 此突破技术被揭幕在 M&M 2010年会议在波特兰,俄勒冈, 8月 1-5。

保罗 Alkemade 博士纳诺科学 Kavli 学院的,德尔福特科技大学,是其中一位氦气离子诱发的非位置和蚀刻的早期的研究员。 根据 Alkemade 博士, “为极小制作的最佳仪器要求高空间分辨率和高淀积效率。 幸运地,在猎户星座的氦气离子束加上仪器为比扫描电子显微镜达到的那好的证言提供解决方法 (SEM)。 另外,氦气离子束提供非常类似于那些达到与一台大量离子的淀积效率 (Ga) 集中的离子束 (FIB)仪器。 气体注射系统的综合化,猎户星座氦气离子显微镜被证明是为极小制作研究的正确的仪器”。

气体注射系统的控制 (GIS)通过猎户星座是无缝集成加上系统软件。 美国兵部件包含三个坩埚能够提供金属和装绝缘体工证言和装绝缘体工铭刻化学。 用户可编程序的处方可以被创建和被收回的允许复杂证言和铭刻进程。 在猎户星座的气体注射系统加上创建一个强大和灵活的平台启用科技目前进步水平极小制作应用。

要了解更多关于此扣人心弦的发展,请在摊请拜访卡尔蔡司 SMT 1274 在 M&M 2010年会议在波特兰,俄勒冈或者请与您的卡尔蔡司 SMT 销售代理商联系。

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