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卡爾蔡司引入獵戶星座的新的氣體注射系統加上氦氣離子顯微鏡

卡爾蔡司今天引入 ORION® 的新的氣體注射系統加上氦氣離子顯微鏡。 惰性氣體離子子毫微米 (較少比 0.35nm) 探測的組合與一個小的交往數量在範例表面啟用高度準確的歸納化學。 發生的結構有非常小的 dimen- sions 和鮮明的姿態保真度。 此突破技術被揭幕在 M&M 2010年會議在波特蘭,俄勒岡, 8月 1-5。

保羅 Alkemade 博士納諾科學 Kavli 學院的,德爾福特科技大學,是其中一位氦氣離子誘發的非位置和蝕刻的早期的研究員。 根據 Alkemade 博士, 「為極小製作的最佳儀器要求高空間分辨率和高澱積效率。 幸運地,在獵戶星座的氦氣離子束加上儀器為比掃描電子顯微鏡達到的那好的證言提供解決方法 (SEM)。 另外,氦氣離子束提供非常類似於那些達到與一臺大量離子的澱積效率 (Ga) 集中的離子束 (FIB)儀器。 氣體注射系統的綜合化,獵戶星座氦氣離子顯微鏡被證明是為極小製作研究的正確的儀器」。

氣體注射系統的控制 (GIS)通過獵戶星座是無縫集成加上系統軟件。 美國兵部件包含三個坩堝能够提供金屬和裝绝緣體工證言和裝绝緣體工銘刻化學。 用戶可編程序的處方可以被創建和被收回的允許複雜證言和銘刻進程。 在獵戶星座的氣體注射系統加上創建一個強大和靈活的平臺啟用科技目前進步水平極小製作應用。

要瞭解更多關於此扣人心弦的發展,请在攤請拜訪卡爾蔡司 SMT 1274 在 M&M 2010年會議在波特蘭,俄勒岡或者請與您的卡爾蔡司 SMT 銷售代理商聯繫。

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