Sistema di Registrazione del Photomask dei Lanci di Carl Zeiss Nuovo

Carl Zeiss introduce il suo Sistema di Registrazione di PROVE™ e della Metrologia del Foglio Di Prova per i photomasks alla Conferenza del Photomask di SPIE nel collocamento di immagine delle misure di Monterey/CA PROVE™ sui photomasks con risoluzione superiore che soddisfa le richieste provocatorie del vertice della tecnologia 32nm e di là.

Ulteriore estensione della litografia 193nm ai vertici seguenti della tecnologia dall'introdurre le forti correzioni ottiche di prossimità e dal doppio modello richiede i nuovi approcci per la registrazione del photomask e la metrologia del foglio di prova.

Nuovo PROVI il Sistema di Registrazione del Photomask e della Metrologia del Foglio Di Prova

Con la sua diffrazione limitata, il lavoro ottico della rappresentazione di alta risoluzione alla lunghezza d'onda pertinente litografica 193nm il nuovo sistema di PROVE™ apre le assolutamente nuove prospettive in metrologia di registrazione. PROVE™ tiene conto la misura di più piccole funzionalità di produzione senza collocare i segni di registrazione. “Questa metrologia reale di registrazione del in-dado è un vantaggio enorme per i nostri clienti nella Fabbricazione della Maschera. Per la prima volta in cronologia, i creatori della maschera possono misurare ed analizzare la registrazione dove realmente importa. , Con l'aumento di risoluzione richiede per esempio per la litografia di EUV, possiamo estendere Ulteriormente le nostre capacità dello strumento fino i vertici imminenti della tecnologia.„ spiega il Dott. Oliver Kienzle, Amministratore Delegato di Divisione di Sistemi della Metrologia A Semiconduttore di Carl Zeiss SMT.

La strategia privata di calibratura e di autofocus di nuovo sistema permette ad una ripetibilità sotto di 0.5nm e ad un'accuratezza sotto di 1nm per la migliore prestazione di misura di registrazione.

Anche nella fabbricazione dei furieri della maschera il sistema di PROVE™ è utilizzato per sintonizzare i generatori di sequenze per migliorare i risultati di collocamento del reticolo e per minimizzare gli errori di registrazione sui photomasks. Recentemente Carl Zeiss riferito circa la spedizione del primo strumento a NuFlare la Technology Inc., i mondi che piombo il fornitore del e-raggio ha basato i furieri della maschera.

Il sistema seguente ad un cliente del Reparto della Maschera sarà consegnato alla fine di questo mese.

13 settembre 2010 Inviato

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit