Systeem van de Registratie Photomask van de Lanceringen van Carl Zeiss het Nieuwe

Carl Zeiss introduceert zijn Registratie PROVE™ en het Systeem van de Metrologie van de Bekleding voor photomasks op Conferentie SPIE Photomask in Monterey/PROVE™ meet CA. beeldplaatsing op photomasks met superieure resolutie die aan de opwindende vereisten van de 32nm technologieknoop voldoen en verder.

De Verdere uitbreiding van 193nm lithografie aan de volgende technologieknopen door sterke optische nabijheidscorrecties en het dubbele vormen te introduceren vereist nieuwe benaderingen voor photomaskregistratie en bekledingsmetrologie.

Nieuw BEWIJS Registratie Photomask en het Systeem van de Metrologie van de Bekleding

Met zijn beperkte diffractie, hoge resolutieweergave het optische stelt werken bij de lithografische relevante 193nm golflengte het nieuwe systeem PROVE™ volledig nieuwe perspectieven in registratiemetrologie open. PROVE™ staat voor meting van de kleinste productieeigenschappen toe zonder registratietekens te plaatsen. „Deze echte metrologie van de in-matrijzenregistratie is een reusachtig voordeel voor onze klanten in de Productie van het Masker. Voor het eerst in geschiedenis, kunnen de maskermakers registratie meten en analyseren waar het werkelijk van belang is. Bovendien, met stijgende resolutievraag b.v. naar lithografie EUV, kunnen wij onze hulpmiddelmogelijkheden tot de aanstaande technologieknopen uitbreiden.“ verklaart Dr. Oliver Kienzle, Leidende Directeur van de Afdeling van de Systemen van de Metrologie van de Halfgeleider van Carl Zeiss SMT.

De merkgebonden autofocus en kaliberbepalingsstrategie van het nieuwe systeem laat een herhaalbaarheid van onder 0.5nm en een nauwkeurigheid van hieronder 1nm voor de beste prestaties van de registratiemeting toe.

Zelfs in productie van maskerschrijvers wordt het systeem PROVE™ gebruikt om de patroongenerators te stemmen om de resultaten van de patroonplaatsing te verbeteren en registratiefouten op photomasks te minimaliseren. Onlangs baseerde Carl Zeiss over de verzending van het eerste hulpmiddel aan Inc. van de Technologie wordt gemeld NuFlare, de werelden die leverancier van e-straal leiden maskerschrijvers die.

Het volgende systeem aan een klant van de Winkel van het Masker zal begin deze maand worden geleverd.

Gepost 13 September, 2010

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit