Carl Zeiss ORIÓN Más el Microscopio de Ión del Helio Se Traslada Más Allá de Proyección De Imagen del Sub-Nanómetro a la Nanofabricación

Los Científicos están investigando actualmente las nuevas aplicaciones para la microscopia del Ión del Helio en nano-modelar. Puesto Que no es limitada por el efecto de proximidad de la litografía convencional del e-haz, la tecnología del Ión del Helio parece ser una opción prometedora, especialmente cuando se trata de imprimir características siempre más finas.

Por más de dos años, el ORION® Más el Microscopio de Ión del Helio de Carl Zeiss se ha sabido para su excelencia en muestras que aislaban sin recubrimiento de la proyección de imagen y materiales suaves con la resolución sub del nanómetro (pliego de condiciones de la resolución < 0,35 nanómetros). Ahora - con una base instalada cada vez mayor de los instrumentos de ORIÓN - los microscopistas académicos e industriales del R&D están ampliando la diversidad de aplicaciones para incluir la nanofabricación.

Los Investigadores han modelado 5 puntos del nanómetro en un tono de 14 nanómetro mientras que otras personas han demostrado líneas bien delineadas de la L-Barra en HSQ se oponen. Este nuevo régimen de la fidelidad del modelo es activado por la profundidad del campo grande del microscopio y por el de corto alcance de los electrones secundarios iniciados ión en típico resista los materiales. los modelos definidos Helio-Ión en HSQ se pueden obtener fácilmente sin los apremios de proceso estrechos usuales de la ventana asociados a menudo a litografía óptica y del e-haz convencional.

Según Wei Wu, un nuevo cliente de Orión, y un científico mayor de la investigación en Laboratorio de la Información de Stan Guillermo y de los Sistemas de Quantum en los Laboratorios de HP en Palo Alto, California, “Observamos hacia adelante a fomentar nuestra investigación con respecto la fabricación y a la proyección de imagen de las características electrónicas y nano-fotónicas nanas posibles más pequeñas. Vemos el ORIÓN equipar como herramienta única, potente que nos permita continuar nuestra investigación récord.”

Para aprender más sobre este revelado emocionante, visite la cabina de Carl Zeiss SMT en el Congreso Internacional de la Microscopia (IMC17) en Rio de Janeiro, el Brasil, el 19-24 de septiembre de 2010, o haga contacto con su representante de ventas de Carl Zeiss SMT.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit