Carl Zeiss ORIONE Più il Microscopio Ionico dell'Elio Si Muove Oltre la Rappresentazione di Sotto-Nanometro verso Nanofabbricazione

Gli Scienziati corrente stanno studiando i nuovi usi per microscopia dello Ione dell'Elio nel nano-modello. Poiché non è limitata dall'effetto di prossimità della litografia convenzionale del e-raggio, la tecnologia dello Ione dell'Elio sembra essere un'alternativa promettente, particolarmente quando si tratta della stampa delle funzionalità mai più fini.

Per oltre due anni, il ORION® Più il Microscopio Ionico dell'Elio da Carl Zeiss è stato conosciuto per la sua eccellenza in campioni d'isolamento non rivestiti della rappresentazione e materiali molli con risoluzione sotto- di nanometro (specifica di risoluzione < 0,35 nanometri). Ora con una base installata crescente degli strumenti di ORIONE - accademici e dei microscopisti industriali di R & S stanno estendendo la diversità delle applicazioni per comprendere la nanofabbricazione.

I Ricercatori hanno modellato 5 punti di nanometro su un passo di 14 nanometro mentre altri gruppi hanno dimostrato le righe bene delineate della L-Barra in HSQ resistono a. Questo nuovo regime della fedeltà del reticolo è permesso a dalla grande profondità di campo del microscopio e dal a corta portata degli elettroni secondari iniziati ione in tipico resista ai materiali. i reticoli definiti Elio-Ione in HSQ possono essere ottenuti facilmente senza i vincoli usuali della finestra di trattamento dello stretto connessi spesso con la litografia convenzionale del e-raggio ed ottica.

Secondo Wei Wu, un nuovo cliente di Orione e un ricercatore senior nel Laboratorio di Informazioni di Stan William e dei Sistemi di Quantum ai Laboratori di HP a Palo Alto, la California, “Aspettiamo con impazienza di avanzare la nostra ricerca per quanto riguarda il montaggio e la rappresentazione di più piccole funzionalità elettroniche e nano-fotoniche nane possibili. Vediamo lo strumento di ORIONE come strumento unico e potente che ci permetterà di continuare la nostra ricerca da primato.„

Per imparare più circa questo sviluppo emozionante, visualizzi la cabina di Carl Zeiss SMT al Congresso Internazionale di Microscopia (IMC17) in Rio de Janeiro, Brasile, il 19-24 settembre 2010, o contatti il vostro rappresentante di Carl Zeiss SMT.

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