헬륨 이온 현미경 플러스 칼 Zeiss 오리온은 Nanofabrication로 이하 나노미터 화상 진찰 저쪽에 움직입니다

과학자는 지금 nano 모방에 있는 헬륨 이온 현미경 검사법을 위한 새로운 용도를 조사하고 있습니다. 그것이 전통적인 e 光速 석판인쇄술의 근접 효과에 의해 제한되지 않기 때문에, 헬륨 이온 기술은 언젠가 더 정밀한 특징 인쇄에 관해서 위로 및 오는 대안, 특히인 것을 보입니다.

2 년간이상, 칼 Zeiss에게서 헬륨 이온 현미경 플러스 ORION®는 이하 나노미터 해결책 (해결책 논고 < 0.35 nm)를 가진 화상 진찰 uncoated 격리 견본 그리고 연약한 물자에 있는 그것의 우수로 알려져 있었습니다. 지금 - 오리온 계기의 증가 설치된 기지에 - 학문 및 산업 연구 및 개발 현미경 사용자는 응용의 nano 제작을 포함하기 위하여 다양성을 확장하고 있습니다.

연구원은 그밖 팀이 HSQ에 있는 잘 묘사하는 L 바 선을 저항하는 설명하는 동안 14 nm 피치에 5개 nm 점을 모방했습니다. 패턴 절조의 이 새로운 정권은 현미경의 필드의 큰 깊이에 의해 가능하게 되고 전형에 있는 이온에 의하여 개시된 이차 전자의 단거리에 의하여 물자를 저항하십시오. HSQ에 있는 헬륨 이온에 의하여 정의된 패턴은 수시로 전통적인 광학과 e 光速 석판인쇄술과 관련되었던 일반적인 좁은 가공 Windows 제한 없이 쉽게 장악될 수 있습니다.

위 우에 따르면, 팔로알토, 캘리포니아에 있는 HP 실험실에 Stan 윌리엄 정보와 양자계 실험실에 있는 오리온 새로운 고객 및 고위 연구 과학자, "우리는 가장 작은 가능한 nano 전자와 nano photonic 특징의 제작 그리고 화상 진찰에 대하여 우리의 연구 발전 기대할 것입니다. 우리는 오리온이 저희를." 우리의 기록 갱신 연구를 계속하는 가능하게 할 유일하고, 강력한 공구로 기기를 장치할 것을 봅니다

이 활발한 발달에 관하여 더 많은 것을 배우기 위하여는, 리오데자네이로, 9월 19-24일 의 2010년, 또는 접촉합니다에 브라질에서 국제적인 현미경 검사법 의회 (IMC17)에 칼 Zeiss SMT 부스를, 칼 Zeiss SMT 판매 대리를 방문하십시오.

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