Carl Zeiss ORION Mais o Microscópio de Íon do Hélio Transporta-se Além de uma Imagem Lactente de Secundário-Nanômetro à Nanofabricação

Os Cientistas estão investigando actualmente usos novos para a microscopia do Íon do Hélio na nano-modelação. Desde Que não é limitada pelo efeito de proximidade da litografia convencional do e-feixe, a tecnologia do Íon do Hélio parece ser uma alternativa eclodido, especialmente quando se trata de imprimir umas características sempre mais finas.

Por mais de dois anos, o ORION® Mais o Microscópio de Íon do Hélio de Carl Zeiss foi sabido para sua excelência em amostras de isolamento sem revestimento da imagem lactente e em materiais macios com definição secundária do nanômetro (especificação da definição < 0,35 nanômetros). Agora - com uma base instalada crescente de instrumentos de ORION - os microscopists académicos e industriais do R&D estão estendendo a diversidade das aplicações para incluir a nanofabricação.

Os Pesquisadores modelaram 5 pontos do nanômetro em um passo de 14 nanômetro quando outras equipes demonstrarem linhas bem traçadas da L-Barra em HSQ resistem. Este regime novo da fidelidade do teste padrão é permitido pela grande profundidade de campo do microscópio e pelo shortrange dos elétrons secundários iniciados íon em típico resista materiais. os testes padrões definidos Hélio-Íon em HSQ podem facilmente ser obtidos sem as limitações estreitas usuais do indicador do processo associadas frequentemente com a litografia convencional óptica e do e-feixe.

De acordo com Wei Wu, um cliente novo de Orion, e um cientista superior da pesquisa no Laboratório dos Sistemas da Informação e de Quantum de Stan William em Laboratórios de HP em Palo Alto, Califórnia, “Nós olhamos para a frente a promover nossa pesquisa em relação à fabricação e à imagem lactente das características eletrônicas e nano-fotónicas nano possíveis as menores. Nós vemos o ORION prover como uma ferramenta original, poderosa que nos permita de continuar nossa pesquisa de recorde.”

Para aprender mais sobre esta revelação emocionante, visite a cabine de Carl Zeiss SMT no Congresso Internacional da Microscopia (IMC17) em Rio de Janeiro, Brasil, os 19-24 de setembro de 2010, ou contacte seu representante de vendas de Carl Zeiss SMT.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit