オックスフォードの器械血しょう技術は次世代 HBLED のバッチ生産のツールを進水させます

オックスフォードの器械血しょう技術は血しょう腐食および沈殿ツールの PlasmaPro™ NGP®1000 HBLED の範囲の進水を HBLED の製造業者に顕著な利点に、与えています。 企業の 61 x 2" からの一流のバッチサイズの並ぶものがないスループットウエファーか。 オックスフォードの器械が例外的な HBLED の生産の提供を顧客に与えられることを 7 つまで x 6つは良質装置パフォーマンスおよび収穫とつながれるウエファー意味します。

NGP1000 範囲はスループットを高め、稼働時間を最大化し、高信頼ハードウェアを通して所有権の費用およびサービスの容易さを減らすように設計されていました。か。 NGP1000 プラットホームは標準として真空ロードロックとのバッチ生産のために、最適化されました。 ロードを開けば 4 味方されたクラスタオプションは使用できます。

「高い明るさ LEDs (HBLEDs) あります今重要部分の私達の生命、照明解決を提供は増加するアプリケーションからバックリットテレビに全般照明」、注釈のマーク Vosloo、オックスフォードの器械血しょう技術の販売所長、 「企業正当に要求します所有権の高いスループット、装置品質および低価格を、および NGP1000 はこれらの解決をすべて提供します。

オックスフォードの器械血しょう技術は HBLED の生産ずっとシステムの広いインストールベースとの 15 年以上生産の市場の大量のバッチ血しょうツールの世界の一流の製造者、です。 企業が展開し続けると同時に私達にあります技術および専門知識が私達の顧客に最新の解決を提供する」。

PlasmaPro NGP1000 PECVD システムは SiO2 および SiNx の層の沈殿のために設計され、大きい領域の電極および最適化されたシャワー・ヘッドデザイン組み込みま、 61 まで x 2"、 15 x 4" か 7 x 6" 単一ロードのウエファー許可します。 55 まで GaN、 AlGaInP およびサファイアの腐食、提供のバッチサイズ x 2" 設計されている PlasmaPro NGP1000 の腐食システム、 13 x 4" のためにまたは 5 x 6"、市場にウエファー/月の一流ボリュームをもたらします。

大きい領域上の優秀な均等性は最近もたらされた 60MHz Viper™血しょうソースによって提供されます。 この革新的なソースは高い腐食のレートおよび多少の損害の利点を維持する ICP ソースに対等な血しょう密度を達成します。

この最新のシステム開発はオックスフォードの器械を」産業のための新しい世代ツールそしてシステムの一流の提供者であることを向け、小規模で問題を分析し、処理する私達の機能に基づいて研究します市場を、補強します。 会社は 21 世紀の大きい挑戦をアドレス指定するために研究および企業をサポートする国際的レベルの製品にスマートな科学を回すのに革新を使用します。

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