옥스포드 계기 플라스마 기술은 차세대 HBLED 배치 생산 공구를 발사합니다

옥스포드 계기 플라스마 기술은 플라스마 식각과 공술서 공구의 PlasmaPro™ NGP®1000 HBLED 범위의 발사를 HBLED 제조자를 걸출한 이득을, 제공하고 있습니다. 기업 61 x 2"에서 주요한 배치 크기를 가진 비할 데 없는 처리량 웨이퍼? 옥스포드 계기가 특별하은 HBLED 생산 제안을 고객에게 제공할 수 있다는 것을 7개까지 x 6개은 고품질 장치 성과 및 수확량으로 결합된 웨이퍼, 의미합니다.

NGP1000 범위는 처리량을 강화하고, 가동 시간을 확대하고 믿을 수 있는 기계설비를 통해서 소유권의 비용 및 서비스의 용이함을 감소시키기 위하여 디자인되었습니까.? NGP1000 플래트홈은 기준으로 진공 짐 자물쇠와 더불어 배치 생산을 위해, 낙관되었습니다. 짐을 열거든 4 편들어진 다발 선택권은 유효합니다.

"높은 광도 LEDs (HBLEDs) 입니다 지금 불가결한 부분의 우리 생활, 점화 해결책 를 성장수 의 응용 제공은 에서 후면발광 텔레비전 에게 일반 점화", 코멘트 표 Vosloo, 옥스포드 계기 플라스마 기술 판매국장, "기업 정당화할 수 있 요구합니다 소유권 의 높은 처리량, 장치 질 및 더 값이 싼, 및 NGP1000는 이 해결책을 전부 제안합니다.

옥스포드 계기 플라스마 기술은 HBLED 계속 생산 제도의 넓은 설치된 기지와 더불어 15 년간이상 생산 시장에 있는 높은 볼륨 배치 플라스마 공구의 세계 주요한 공급자, 입니다. 기업이 발전하는 것을 계속하는 때, 우리는 있습니다 기술 및 전문 기술이 우리의 고객에게 최신 해결책을 제안하는."

PlasmaPro NGP1000 PECVD 시스템은 SiO2와 SiNx 층의 공술서를 위해 디자인되고, 큰 부위 전극 및 낙관된 샤워 꼭지 디자인 통합해, 61까지 x 2", 15 x 4" 7 x 6" 단 하나 짐에 있는 웨이퍼 허용하. 55까지 GaN, AlGaInP 및 사파이어 식각, 제안 배치 크기 x 2" 디자인되는 PlasmaPro NGP1000 식각 시스템, 13 x 4"를 위해 또는 5 x 6", 시장에게 웨이퍼/달의 주요한 양 열매를 산출.

큰 부위에 우수한 균등성은 새로 소개된 60MHz Viper™ 플라스마 근원에 의해 제공됩니다. 이 혁신적인 근원은 높은 식각 비율 및 적은 피해의 이득을 유지하는 ICP 근원에 대등한 플라스마 조밀도를 달성합니다.

이 최신 시스템 개발은 옥스포드 계기를' 산업을 위한 새로운 세대 공구 그리고 시스템의 주요한 공급자인 것을 작정이고 소규모에 사정을 분석하고 조작하는 우리의 기능에 근거하여 연구합니다 시장을, 강화합니다. 회사는 21세기의 중대한 도전을 제시하기 위하여 연구와 기업을 지원하는 세계적인 제품으로 지능적인 과학을 돌기 위하여 혁신을 이용합니다.

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