牛津儀器等離子技術生成下一代 HBLED 分批生產工具

牛津儀器等離子技術為 HBLED 製造商提供未清福利,以等離子銘刻和證言工具的 PlasmaPro™ NGP®1000 HBLED 範圍的生成。 與行業主導的批量的空前的處理量從 61 x 2" 薄酥餅? 7 x 6" 薄酥餅,加上優質設備性能和產量,意味著牛津儀器能提供客戶以一例外 HBLED 生產提供。

NGP1000 範圍被設計提高處理量,最大化正常運行和通過可靠的硬件減少所有權的服務費用和方便。? NGP1000 平臺為分批生產被優選了,與真空負荷鎖定作為標準。 開張負荷,并且 4 支持的字符串選項是可用的。

「高亮度 LEDs (HBLEDs) 是現在組成部分我們生活,提供照明設備解決方法增加應用,從由後面照電視對一般照明設備」,備注標記 Vosloo,牛津儀器等離子技術經銷總理, 「行業情有可原地需求高處理量,設備質量和低價所有權和 NGP1000 提供所有這些解決方法。

牛津儀器等離子技術是大容積批等離子工具的世界領先的供應商在生產市場上 15 年,與 HBLED 生產系統一個寬產品安裝信息庫。 當這個行業繼續演變,我們有這個技術和專門技術提供最最新的解決方法為我們的客戶」。

PlasmaPro NGP1000 PECVD 系統為 SiO2 和 SiNx 層的證言設計,并且合併一個大區電極和優化淋浴噴頭設計,允許 61 x 2", 15 x 4" 或 7 x 6" 在唯一負荷的薄酥餅。 PlasmaPro NGP1000 銘刻系統,設計為 GaN、 AlGaInP 和青玉銘刻,聘用批量至 55 x 2", 13 x 4" 或 5 x 6",產生市場薄酥餅/月的主導的數量。

最近被引入的 60MHz Viper™等離子來源提供在大區的非常好的均一。 此創新來源達到可比較的等離子密度對 ICP 來源,維護高銘刻費率和低的損害的福利。

此最新的系統開發加強牛津儀器』打算是新一代工具和系統主導的提供者行業的并且根據我們的能力分析和操作問題研究市場,在最小的規模。 這家公司使用創新把聰明的科學變成支持研究和行業解決 21 世紀的巨大挑戰的國際水平的產品。

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