Carl Zeiss und Synopsys Arbeiten auf In-Form Registrierungs-Metrologie für Fotomasken-Herstellung zusammen

Carl Zeiss SMS GmbH, ein führender Lieferant für Fotomaskenmetrologie- und -reparaturhilfsmittel und Synopsys, Inc. (Nasdaq: SNPS), ein Weltmarktführer in der Software und IP für Halbleiterauslegung, Überprüfung und Herstellung, kündigten heute eine Zusammenarbeit an, um die ZEISS-Hilfsmittelfamilie für Inform Metrologielösungen für den 32-nm-Technologie (nm)knotenpunkt zu unterstützen und unten.

Synopsys bietet Halterung für ZEISS' PROVE™, das zukünftige Registrierungsmetrologiehilfsmittel, durch Synopsys' CATS™, die Technologie-führende MaskenDatenaufbereitungslösung an. Unter Verwendung der KATZEN als des Datenaufbereitungsmotors, können die Maskeningenieure, die PROVE verwenden, von verbesserter Leistungsfähigkeit und Brauchbarkeit einer Registrierungsmetrologieanlage profitieren, die zwingende Überlagerungsgenauigkeitsbedingungen erfüllt.

MaskenDatenaufbereitung durch KATZEN verstärkt weiter die Leistungsfähigkeit von PROVE.

Starke optische Näherungskorrektur und doppelten kopierenden die Techniken, benötigt, um 193 nm die Lithographie auf die folgenden Technologieknotenpunkte auszudehnen, verlangen größere Fotomaskenmuster-Platzierungsgenauigkeit. Die neuen PRÜFEN, dass Anlage diese erhöhten Nachfragen mit seinem bahnbrechenden Konzept von 193 nm-Beleuchtungsoptik befriedigt. Sie entbindet eine Inform Metrologiefähigkeit für Maß der kleinsten Produktionsmerkmale, ohne Passkreuze zu legen und aktiviert Maskenhersteller, Registrierung in den kritischen Bereichen auf der Maske zu messen und zu analysieren.

Der neue KATZEN-Block, aktuell in begrenzter Kundenverfügbarkeit und im Allgemeinen - erhältlich im März 2011, aktiviert einen schnellen, effizienten und völlig automatisierten Fluss für die Installation von Fotomaskenmetrologiejobs. Unter Verwendung der industriekompatiblen offenen Formate OASIS.MASK und XML, bietet hoch entwickelte Markierungsfähigkeiten und die zweidimensionale (2D) Wechselbeziehungsmethode der PRÜFUNG, KATZEN eine beträchtliche Verbesserung herkömmlichen Bildanalyseentwürfen an. Die innovative Methode vergleicht 2D Auslegungsclip der Maske, die von den KATZEN mit Bildern auf der Maske bereitgestellt wird, die durch PROVE, mit dem Ergebnis der höheren Maßgenauigkeit erfasst wird, die mit Standardverfahren unter Verwendung der Maße 1D verglichen wird, die auf nur Rändern basieren.

„Mit Langzeiterfahrung Synopsys' in der MaskenDatenaufbereitung und in Carl Zeiss' Know-how in Inform Metrologie, hilft der neue KATZEN-Block mit seinen aufregenden Fähigkeiten beträchtlich, MaskenAusrichtfehler auf willkürlichen Produktionsmerkmalen zu verringern,“ sagte Dr. Dirk Beyer, Produktmanager für PROVE bei Carl Zeiss GmbH SMS.

Ausrichtfehler können für jede Maske ohne Auflösungsbeschränkungen jetzt mengenmäßig bestimmt werden und Maskenherstellern ein vollständig neues Hilfsmittel für die Verringerung von Platzierungsfehlern in der doppelten Kopieren und Maske-zumaskenüberlagerung geben.

„Zusammenarbeit Synopsys' mit Carl Zeiss illustriert unsere Verpflichtung zum Angebot der umfassenden Lithographie, Inspektion und Metrologielösungen zur Maskenherstellung vermarkten“, sagten Fabio Angelillis, Vizepräsident der Technik für Synopsys' Silikon Gruppe Ausführend. „, Indem Sie KATZEN auf Halterung ausdehnen, PRÜFEN Sie, entbinden wir hochwertigere Metrologielösungen an unsere Abnehmer am 32-nm-Technologieknotenpunkt und unten,“ fügte er hinzu.

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