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Le Groupe d'EV Annonce la Collaboration avec l'Institut de Recherches Industriel de la Technologie de Taïwan

Le Groupe d'EV (EVG), un principal fournisseur de matériel de métallisation et de lithographie de disque pour le MEMS, nanotechnologie et marchés de semi-conducteur, ont aujourd'hui annoncé qu'il collabore avec l'Institut de Recherches Industriel de Technologie (ITRI)--Taïwan plus grand et une des institutions principales mondiales de R&D du high tech--dans le développement des processus de fabrication avancés pour les dispositifs de la deuxième génération de MEMS.

En tant qu'élément de la collaboration, ITRI a acheté un système semi-automatisé de métallisation du disque EVG510 et un EVG6200 système automatisé de cadrage de masque avec des options de cadrage de haut-bas et de cadrage d'obligation. EVG fonctionnera également attentivement avec ITRI pour développer, optimiser et personnaliser les procédés disque disque de la métallisation d'ITRI pour ses partenaires et clients.

Les systèmes neufs d'EVG seront installés au Centre de Technologie Micro des Systèmes d'ITRI. Là, ils joindront les dispositifs d'alignement multiples de masque d'EVG et les bonders de disque déjà installés et en fonction au centre de recherche pour la métallisation thermo disque disque anodique, eutectique et en métal de compactage--ce qui sont des phases critiques dans la production des dispositifs de MEMS. Le bonder EVG510 jouera une fonction clé en supportant le passage d'ITRI à 200 millimètres de MEMS de traitement de disque. ITRI a également cité le niveau élevé de souplesse du matériel d'EVG, ainsi que les capacités de processus intenses du support de la compagnie, en tant que critères importants dans leur décision d'acheter les systèmes neufs.

« Au Centre de Technologie Micro des Systèmes d'ITRI, notre mission est de produire des applications novatrices et de développer les technologies interdisciplinaires qui piloteront l'accroissement prolongé de l'industrie de MEMS, » Tzong-Che indiqué Ho, Directeur Central du Centre de Technologie Micro des Systèmes d'ITRI. « Nous sommes heureux de travailler avec le Groupe d'EV--une amorce identifiée dans des compétences d'équipement industriel et de procédé de MEMS--pour développer les procédés neufs qui augmenteront l'avantage concurrentiel de nos partenaires et clients. »

Selon la société d'étude de marchés SON Suppli (El Segundo, Californie), le marché de MEMS est réglé pour apprécier l'accroissement à deux chiffres à partir de 2012 à 2014, avec la comptabilité du marché atteignant $10,81 milliards en 2014, à partir de $5,97 milliards en 2009. Les gestionnaires Principaux pour l'accroissement du marché comprennent l'utilisation des accéléromètres, des gyroscopes, des senseurs de pression et d'autres dispositifs de MEMS pour des applications automobiles et du consommateur de communications mobiles. Taïwan est un hub principal quand il s'agit de production de ces dispositifs.

« ITRI a joué un rôle pivot en mettant à jour la position de Taïwan comme centre d'innovation et l'excellence dans le domaine de la microélectronique, » Dr. indiqué
Viorel Dragoi, scientifique en chef au Groupe d'EV. « Nous attendons avec intérêt de continuer notre relation de longue date avec ITRI, et d'accroître nos compétences de technologie et de procédé de leader pour supporter leur développement de processus de MEMS et services de production pilote. »

la métallisation alignée Disque Disque est une clé activant la technologie pour la fabrication de MEMS due à la nécessité de protéger les dispositifs mécaniques miniatures et fragiles car le disque passe par le reste du processus de fabrication. la métallisation Disque Disque est exigée pour produire un module immédiat afin d'hermétiquement sceller et encapsuler le dispositif.

Des systèmes de métallisation du disque d'EVG sont conçus pour la fabrication à fort débit avec des configurations modulaires pour le transfert facile des procédés de R&D à la production.

Avec les rendements les plus élevés pour la métallisation alignée de disque dans l'industrie, EVG est un premier fournisseur existant depuis longtemps de la métallisation de disque, du cadrage et des appareils de manutention à l'industrie de MEMS, fonctionnant avec 29 des constructeurs du principal 30 MEMS du monde.

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