EV-Gruppe, zum von Höheren Niveaus der Produktionsleistung durch die Produkteinführung der Anlage der ZWILLINGE FB Zu Erzielen

EV-Gruppe (EVG), ein führender Lieferant des Wafermasseverbindungs- und -lithographiegeräts für das MEMS, Nanotechnologie und Halbleitermärkte, kündigten heute an, dass es ein neues Flaggschiffbaumuster in seiner Bereich-erwiesenen Fusionswafer-Masseverbindungsfamilie der ZWILLINGE FB startet, die Systemdurchsatz auf bis 20 Wafers pro Stunde erhöht.

Die Verbesserung umfaßt erhöhte Automatisierungsfähigkeiten, um Abnehmer zu aktivieren, höhere Niveaus der Produktionsleistung für solche Anwendungen zu erzielen, denen Rückseite (BSI) CMOS-Bildfühler, Integration 3D von CMOS-Bildfühlern und monolithische Integration 3D von größtintegrierten Speicherbauelementen leuchtete.

Anlage ZWILLINGE FB EVGS ist für integrierte und automatisierte Waferladen, Ausrichtung, Masseverbindung und das Aus dem Programm nehmen von geklebten Wafers bis 300 mm im Durchmesser bestimmt. Die Firma berichtet, dass sie bereits Ordnungen von den bedeutenden integrierten Einheitsherstellern für die ausgebaute Plattform empfangen hat, wenn die Lieferungen für das Ende geplant sind, dieses Kalenderjahres.

Entsprechend Paul Lindner, Exekutivtechnologiedirektor für EVG, „Wir fahren fort, Nachfrage unter unseren Abnehmern für höhere Erträge und Durchsatz zu sehen, um ihre Anlagenrendite zu maximieren. An EVG ist unsere Vision, die erste zu sein, wenn sie neue Techniken erforscht, um diese Verstärkungen zu erzielen--uns aktivieren, zukünftige Anwendungen zu adressieren, die Mikro und Nanofabrikationstechnologien wirksam einsetzen. Als Teil dieser Vision konzentrieren uns wir fortwährend auf erneuern unsere Produktlinien mit Verbesserungen wie dieser spätesten Extension zu unserer Plattform Flaggschiff ZWILLINGE FB--die erste Bereich-erwiesene die 300 mm-Fusionswafer-Masseverbindungsanlage der Industrie leicht verfügbar.“

Diese spätesten Verbesserungen, zum des Durchsatzes der Plattform der ZWILLINGE FB aufzuladen sind ein Teil Unternehmensinitiative EVGS, zum von 300-mm-Hauptstandards über vielen seiner Industrie-führenden Geräteplattformen einzuführen. Speziell enthielt EVG einen lokalen materiellen Buffer, dem mehr als die Zahl von FOUPs (vordere Öffnung vereinheitlichte Hülsen) auf der Anlage bis 10 für kontinuierliche Modusoperation verdoppelt. EVG setzte auch ein Verladesystem des neuen, schnelleren Wafers in der Plattform der ZWILLINGE FB ein--unter Verwendung der Doppelendeeffektoren auf der Roboteranlage verglich mit Einzelendeeffektoren.

Ein Hauptmerkmal der Plattform der ZWILLINGE FB umfaßt Plasmaaktivierung der niedrigen Temperatur, die Wafermasseverbindung der niedrigen Temperatur (<400 Grad Celsius) und freies Ausglühen des Druckes/des Schadens aktiviert--ein kritisches Element für CMOS-Bildfühler und Anwendungen der Integration 3D. EVG erhöhte auch seine eigene SmartViewR-Technologie, die Universalitätsanleihenausrichtung für vertrauliches zulässt, Rückseiten-, Infrarot- und transparenteausrichtung von Wafers bis 300 mm mit unterschiedlicher Stärke und Materialien--die beste Ausrichtungsgenauigkeit heute entbinden erhältlich. Verbesserungen zur SmartView-Ausrichtungsanlage umfassen neue Software, die Prozessfolgen und Drehzahl optimiert. Mit diesen kombinierten Verbesserungen zur Plattform der ZWILLINGE FB, hat EVG eine 26-Prozent-Zunahme des Durchsatzes gezeigt--mit dem Ergebnis der Drehzahlen von Wafer bis 18-20 klebt pro Stunde, abhängig von Kammerkonfiguration, Abnehmeranwendungen und Prozessrezepten.

EVG wird an SEMICON Taiwan ausstellen, das 7. bis 9. September 2011 in Taipeh, Taiwan angehalten wird. Die Media und Analytiker, die interessiert werden, an dem Lernen mehr über die Firma und seine Neuentwicklungen, angeregt werden, Stand #2506 zu besichtigen EVGS. Darüber hinaus werden einige EVG-Leitprogramme sich während des dreitägigen langen Ereignisses darstellen. Besuch www.semicontaiwan.org/en/ zu mehr Information.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit