Medida da Precisão Alta da Espessura de Filme, do R.I. e da Reflectividade de Filmes Finos e de Pilhas Multilayer De Horiba Jobin Yvon

Horiba Jobin Yvon estendeu a capacidade de desempenho do ellipsometer com modulação de fase espectroscópica de UVISEL com a integração do refletômetro Espectroscópica do VIP DUV. A combinação de ellipsometer e de refletômetro da elevada precisão que medem na mesma posição da amostra permite a caracterização das características tão pequenas quanto 10 mícrons.

Ellipsometer com modulação de fase espectroscópica de UVISEL integrado com o refletômetro Espectroscópica do VIP DUV

As Aplicações do VIP de UVISEL incluem a medida da espessura de filme, do R.I. e da reflectividade de filmes finos e de pilhas multilayer com precisão muito alta.

Pela adição de uma grande área que traça fases da dimensão 200mm, 300mm e acima, e com software integrado do reconhecimento de padrões o VIP de UVISEL pode caracterizar os materiais modelados encontrados em bolachas de semicondutor, os materiais do indicador, as estruturas de OLED e os biosensors com as espessuras que variam de alguns ångströms a diversos dez dos mícrons.

O pacote de software DeltaPsi2 bem provado controla o instrumento completo, e fornece uma relação simples para a produção, a planta piloto e as aplicações da pesquisa.

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