膠片厚度、薄膜和多層棧 R.i. 和反射性的高精確度評定從 Horiba Jobin Yvon

Horiba Jobin Yvon 擴大了 UVISEL 分光鏡階段被調整的 ellipsometer 的性能與 VIP DUV 分光鏡反射儀的綜合化的。 高精度 ellipsometer 和反射儀的組合評定在同一個範例位置的允許功能的描述特性一樣小像 10 微米。

UVISEL 分光鏡階段調整了 ellipsometer 集成與 VIP DUV 分光鏡反射儀

UVISEL VIP 的應用包括膠片厚度、薄膜和多層棧 R.i. 和反射性的評定與非常高精確度。

由映射階段維數 200mm, 300mm 以上和與集成模式識別軟件的一大區的添加 UVISEL VIP 能分析在半導體片找到的被仿造的材料,顯示材料、 OLED 結構和生理傳感器與範圍從一些埃的厚度到幾十倍微米。

很好證明的 DeltaPsi2 軟件包控制完全儀器,并且為生產、實驗設備和研究應用提供一個簡單的界面。

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