VUV d'UVISEL Ellipsometer Spectroscopique À modulation de phase De Horiba Jobin Yvon A Étendu Vers Le Bas À 140nm

L'introduction de l'ellipsometer spectroscopique à modulation de phase de VUV d'UVISEL de Horiba Jobin Yvon étend les capacités de performance de la suite d'UVISEL vers le bas à 140 nanomètre. Ce domaine d'énergie devient de plus en plus important pour la caractérisation extrêmement des films minces utilisés dans des dispositifs de nanoscale avec nanoelectronic, nanophotonic, le nanobiosensor et les applications nanorobotic.

Ellipsometer de VUV d'UVISEL

L'ellipsometer de VUV d'UVISEL fournit la meilleure combinaison de la performance supérieure de VUV et de la souplesse expérimentale de déterminer l'épaisseur de film mince et les constantes optiques en travers de la gamme de longueurs d'onde 140 à 826 nanomètre. Les Caractéristiques techniques du VUV d'UVISEL comprennent :

  • Domaine spectral Large très à grande vitesse                           
  • Design Avancé pour la haute performance dans le VUV
  • Accès Direct d'échantillon et charge rapide
  • Technologie de modulation de Phase pour la mesure de grande précision et de précision
  • Excellents signal-bruit et signe au taux de mouvement propre

Pour pouvoir couvrir cette large gamme l'instrument doit être air/en l'absence d'oxygène, et il est ce les conditions qui peuvent réduire le débit d'échantillon pour quelques instruments dû à l'entrée d'air et de son démontage quand l'échantillon est monté et démonté des instruments.

Pour réduire à un minimum cet affect le VUV d'UVISEL est configuré en tant que trois compartiments indépendants ; le voyant + polariseur, la cavité témoin, et le modulateur + le monochromateur + le système de dépistage photoélastiques de photomultiplicateur. Le compartiment témoin a accès indépendant et est équipé de son propre système d'isolement de purge.

Ce design fournit la souplesse et la souplesse élevées pour l'échantillon traitant, et active le débit élevé d'échantillon.

Le VUV d'UVISEL est réglé en la plate-forme logiciel Deltapsi2, et est idéal pour des demandes de film mince de VUV de recherche exigeante et de contrôle qualité industriel.

Applications de Film Mince de VUV

Les applications ellipsometry spectroscopiques de VUV s'échelonnent des mesures des constantes optiques et du bandgap optique des matériaux absorbant loin dans l'UV tel que les matériaux élevés de k, matières organiques, bloc optique de pas, vernis photosensibles.

Ellipsometry spectroscopique de VUV fournit la précision accrue pour la mesure d'épaisseur très des couches minces et des surfaces adjacentes. C'est particulièrement utile pour des applications de nanoscale où la caractérisation d'un oxyde indigène, d'une couche finie approximative ou d'une surface adjacente affecte l'efficience du dispositif final.

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